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index 565c033..6eaa8d2 100644 (file)
@@ -294,9 +294,11 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     \label{img:carbon_sim}
     \end{figure}
     Im Folgenden sollen die Kohlenstofftiefenprofile betrachtet und mit experimentell gewonnenen Daten aus \cite{maik_da}, die mittels Rutherford-R"uckstreu-Spektroskopie bestimmt wurden, verglichen werden.
-    Abbildung \ref{img:carbon_sim} zeigt die, aus den Simulationsergebnissen gewonnenen Kohlenstoffverteilungen in Abh"angigkeit der Tiefe f"ur verschiedenen Dosen.
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+    Abbildung \ref{img:carbon_sim} zeigt die, aus den Simulationsergebnissen gewonnenen Kohlenstoffverteilungen in Abh"angigkeit der Tiefe f"ur verschiedene Dosen.
     Auff"allig ist die Verschiebung des Kohlenstoffmaximums mit steigender Dosis.
     Diese ist durch das Absputtern der Oberfl"ache zu erkl"aren.
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     EDIT: rbs daten, unterschied -> erklaerung des shifts