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index 1661895..730970b 100644 (file)
@@ -69,7 +69,7 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     Ein weiterer Vorteil ist die bessere Vergleichsm"oglichkeit zweier Linescans, da deren Intensit"atsverlauf in der selben Gr"ossenordnung liegt.
 
     F"ur den Vergleich mit der TEM-Aufnahme wurde der linke Teil der Aufnahme abgeschnitten und auf $100$ Bildpunkte in der H"ohe skaliert.
-    \begin{figure}[!h]
+    \begin{figure}[h]
     \includegraphics[width=12cm]{tem_cmp_ls.eps}
     \caption{Vergleich der Linescans der fouriertransformierten TEM-Aufnahme und der Cross-Section der Simulation}
     \label{img:tem_cmp_ls}
@@ -198,7 +198,7 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
     \label{subsection:c_distrib}
 
-    \begin{figure}[!h]
+    \begin{figure}[h]
     \begin{center}
     \includegraphics[width=7cm]{really_all_z-z_plus1.eps}
     \end{center}
@@ -244,7 +244,7 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
     \label{subsection:reproduced_dose}
 
-    \begin{figure}[!h]
+    \begin{figure}[h]
     \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung3.eps}
     \caption{Vergleich der experimentellen und simulierten Dosisentwicklung bei a) $1,0 \times 10^{17} cm^{-2}$ bzw. $s= 40 \times 10^{6}$, b) $2,1 \times 10^{17} cm^{-2}$ bzw. $s= 80 \times 10^{6}$, c) $3,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ bzw. $s= 120 \times 10^{6}$ und d) $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ bzw. $s \approx 158 \times 10^{6}$ (exakte Dosis). Simulationsparameter: $p_b=0,01$, $p_c=0,001$, $p_s=0,0001$, $d_r=0,05$, $d_v=1 \times 10^{6}$.}
     \label{img:dose_devel}
@@ -321,7 +321,7 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     Es sind aber auch Ungenauigkeiten bei der experimentellen Ermittlung der Kohlenstoffverteilung aus den RBS-Spektren denkbar.
     Mit dem Shift in der Kohlenstoffverteilung ist der Tiefenunterschied der Lage der amorphen Schicht erkl"art.
 
-    \begin{figure}[!h]
+    \begin{figure}[h]
     \includegraphics[width=12cm]{ac_cconc_ver2.eps}
     \caption{Cross-Section und Tiefenprofil des Kohlenstoffs der Simulation aus Abschnitt \ref{subsection:reproduced_dose}. Helle Gebiete sind amorph, dunkle Gebiete kristallin. Kohlenstoff in kristallinen Gebieten (gr"un), in amorphen Gebieten (rot) und gesamter Kohlenstoff (schwarz) sind abgebildet.}
     \label{img:c_distrib_v2}
@@ -374,7 +374,7 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     Wie erwartet ist ausserdem der $50 nm$-Shift in der Position der amorphen Schicht vorhanden.
     
     Die Tabellen \ref{table:interface_conc_exp} und \ref{table:interface_conc_sim} fassen die Kohlenstoffkonzentration an der vorderen und hinteren Grenzfl"ache f"ur Experiment und Simulation in Abh"angigkeit der Dosis zusammen.
-    \begin{table}[!h]
+    \begin{table}[h]
     \begin{center}
     \begin{tabular}{|c|c|c|}
     \hline
@@ -391,7 +391,7 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     \caption{Experimentell bestimmte Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen der amorphen Schicht in Abh"angigkeit der Dosis.}
     \label{table:interface_conc_exp}
     \end{table}
-    \begin{table}[!h]
+    \begin{table}[h]
     \begin{center}
     \begin{tabular}{|c|c|c|}
     \hline