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index 3a2e646..7af1d53 100644 (file)
@@ -153,14 +153,16 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     Die Druckspannungen fallen quadratisch mit der Entfernung ab.
     Ein zuf"alliges amorphes Gebiet, das nicht direkt an eienr Ausscheidung anliegt wird daher viel wahrscheinlicher rekristallisieren.
     Selbst ein neu entstandenes amorphes Gebiet direkt neben einer Ausscheidung kann nichtmehr durch die Druckspannungen allein stabilisiert werden.
-    Es wird nur amorph bleiben, wenn vor dem n"achsten Sto"s genug Kohlenstoff durch den Diffusionsprozess gewonnen wird und eine Stabilisierung auf Grund der kohelnstoff-induzierten Amorphisierungswahrscheinlichkeit ausreicht.
+    Es wird nur amorph bleiben, wenn vor dem n"achsten Sto"s genug Kohlenstoff durch den Diffusionsprozess gewonnen wird und eine Stabilisierung auf Grund der kohlenstoff-induzierten Amorphisierungswahrscheinlichkeit ausreicht.
 
     EDIT: Linescan f"r $p_s=0,002$ und $p_s=0,004$. Ver"anderte Periodizit"at der Lamellen. Sch"arferes Maxima bei Ortsfrequenz Null.
 
     \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
 
     \begin{figure}[h]
-    \includegraphics[width=9cm]{really_all_z-z_plus1.eps}
+    \begin{center}
+    \includegraphics[width=7cm]{really_all_z-z_plus1.eps}
+    \end{center}
     \caption{Amorph/Kristalline Struktur, Kohlenstoffverteilung und Druckspannungen in zwei aufeinander folgenden Ebenen $z$ und $z=1$.}
     \label{img:s_c_s_distrib}
     \end{figure}
@@ -177,7 +179,9 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     In den kristallinen Gebieten der amorph/kristallinen Grenzfl"ache reicht auch das Spannungsfeld nichtmehr aus um den amorphen Zustand zu stabilisieren.
 
     \begin{figure}[h]
-    \includegraphics[width=9cm]{ac_cconc_d.eps}
+    \begin{center}
+    \includegraphics[width=12cm]{ac_cconc_d.eps}
+    \end{center}
     \caption{Cross-Section und Tiefenprofil des Kohlenstoffs in einem Target mit lamellaren Strukturen. Abgebildet ist der Kohlenstoff in amorphen und kristallinen Gebieten (schwarz), in kristallinen Gebieten (rot) und in amorphen Gebieten (gr"un).}
     \label{img:c_distrib}
     \end{figure}
@@ -191,8 +195,13 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
 
   \section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
 
+    Im Folgenden wird die zweite Version des Programms diskutiert.
+    Hier wird "uber den gesamten Implantatiosnbereich, von $0$ bis $700 nm$ simuliert.
+
     \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
 
+    Abbildung x zeigt den Vergleich der \ldots
+
     \subsection{Variation der Simulationsparameter}
 
     \subsection{Kohlenstoffverteilung}