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[lectures/latex.git] / nlsop / diplom / grundlagen.tex
index 33f2a73..5f813d7 100644 (file)
 
       \subsubsection{Elektronische Bremskraft}
 
+      Der elektronische Energieverlust der Ionen an den Elektronen des Targets kommt haupts"achlich durch inelastische Streuung zustande.
+      Dies f"uhrt zur Anregung beziehungsweise Ionisation des Targets.
 
 
     \subsection{Implantationsprofil}