\chapter{Grundlagen}
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+ \section{Monte-Carlo-Simulation}
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+ \section{Ion-Festk"orper Wechselwirkung}
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+ Zur theoretischen Beschreibung der Ionenimplantation mu"s die Wechselwirkung der Ionen mit dem Target betrachtet werden.
+ Durch St"o"se mit den Kernen und Elektronen des Targets werden die Ionen im Festk"orper abgebremst, ein entsprechendesImplantationsprofil stellt sich ein.
+ Weitere Folgen sind die durch Bestrahlung im Kristallgitter entstehenden Sch"aden.
+ Im Folgenden wird darauf genauer eingegangen.
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+ \subsection{Abbremsung von Ionen}
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+ \subsubsection{Bremsquerschnitt}
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+ \subsubsection{Nukleare Bremskraft}
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+ \subsubsection{Elektronische Bremskraft}
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+ \subsection{Implantationsprofil}
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+ \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung}