\bibitem{vorstellung_modell} J. K. N. Lindner, M. H"aberlen, M. Schmidt, W. Attenberger, B. Stritzker. Nucl. Instr. and Meth. B 186 (2002) 206.
\bibitem{chef_habil} J. K. N. Lindner. Habilitationsschrift. Universit"at Augsburg. 1999.
\bibitem{maik_da} Maik H"aberlen. Diplomarbeit. Universit"at Augsburg. 2002.
+ \bibitem{van_ommen} A. H. van Ommen. Nucl. Instr. and Meth. B 39 (1989) 194.
+ \bibitem{specht} E. D. Specht, D. A. Walko, S. J. Zinkle. Nucl. Instr. and Meth. B 84 (2000) 390.
+ \bibitem{ishimaru} M. Ishimaru, R. M. Dickerson, K. E. Sickafus, Nucl. Instr. and Meth. B 166-167 (2000) 390.
\bibitem{knuth} D. E. Knuth. The art of computer programming Vol. 2. Addison-Wesley, 1981.
\bibitem{nr} W. H. Press. Numerical recipes. The art of scientific computing. Cambridge Univ. Pr. 1986.
\bibitem{park_miller_zufall} S. K. Park, K. W. Miller. Communications of the ACM 31 (1988) 1192.
\bibitem{stein_vook_borders} H. J. Stein, F. L. Vook, J. A. Borders. Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 106.
\bibitem{kinchin_pease} G. H. Kinchin, R. S. Pease. Rep. Progr. Phys. 18 (1955) 1.
\bibitem{biersack_haggmark} J. P. Biersack, L. Haggmark. Nucl. Instr. and Meth. B 174 (1980) 257
- \bibitem{van_ommen} A. H. van Ommen. Nucl. Instr. and Meth. B 39 (1989) 194.
- \bibitem{specht} E. D. Specht, D. A. Walko, S. J. Zinkle. Nucl. Instr. and Meth. B 84 (2000) 390.
- \bibitem{ishimaru} M. Ishimaru, R. M. Dickerson, K. E. Sickafus, Nucl. Instr. and Meth. B 166-167 (2000) 390.
\bibitem{lindner_appl_phys} J. K. N. Lindner. Appl. Phys. A 77 (2003) 27.
\bibitem{linnross} J. Linnross, R. G. Elliman, W. L. Brown. J. Matter. Res. 3 (1988) 1208.
\bibitem{kennedy} E. F. Kennedy, L. Csepregi, J. W. Mayer. J. Appl. Phys. 48 (1977) 4241.