commit often and soon
[lectures/latex.git] / nlsop / diplom / zuzsammenfassung_ausblick.tex
index cdc039e..4677aa5 100644 (file)
@@ -27,7 +27,7 @@ Nukleare Bremskraft und Implantationsprofil wurden linear gen"ahert.
 Die zweite Version umfasst den kompletten Implantationsbereich einschlie"slich der amorphen durchgehenden Schicht.
 Hier wurde ein exaktes Bremskraft- und Implantationsprofil verwendet.
 Implantationsparameter erm"oglchen die Steuerung des Amorphisierungsprozesses.
-Die drei zur Amorphisierung beitragenden Mechanismen ballistische Amorphisierung, kohlenstoff-induzierte Amorphisierung und spannungs-induzierte linebreak[4] Amorphisierung k"onnen durch Simulationsparameter gewichtet werden.
+Die drei zur Amorphisierung beitragenden Mechanismen ballistische Amorphisierung, kohlenstoff-induzierte Amorphisierung und spannungs-induzierte Amorphisierung k"onnen durch Simulationsparameter gewichtet werden.
 Die Diffusion kann durch zwei weitere Parameter beschrieben werden.
 Bei der Implementierung wurde darauf geachtet, dass ein Durchlauf exakt einem implantierten Ion entspricht.
 Somit kann versucht werden, eine experimentell bestimmte Dosisenticklung zu reproduzieren.