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diff --git a/nlsop/nlsop.tex b/nlsop/nlsop.tex
index 16fd3b2..494a341 100644 (file)
--- a/nlsop/nlsop.tex
+++ b/nlsop/nlsop.tex
@@ -56,7 +56,7 @@ Diese sind unabh"angig voneinander.
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-\subsubsection{Bremsquerschnitt}
+\slideheading{Bremsquerschnitt}
 Definition: Bremsquerschnitt $S_{e,n}$
 \[
  S_{e,n} = \frac{1}{N} \Big( \frac{\partial E}{\partial x} \Big)_{e,n}
@@ -80,7 +80,7 @@ Mittlere Reichweite $R$:
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-\subsubsection{elektronischer Energieverlust}
+\slideheading{elektronischer Energieverlust}
 Elektronischer Energieverlust haupts"achlich durch inelastische St"o"se.
 \begin{itemize}
  \item Anregung / Ionisation des Targets
@@ -91,7 +91,7 @@ Elektronischer Energieverlust haupts"achlich durch inelastische St"o"se.
 \begin{slide}
 Energieverlust abh"angig von Energie $E$ der Ionen. (LSS, Firsov)
 \begin{itemize}
- \item niedrige Teilchenenergie: $S_e(E) = \sqrt{E}$
+ \item niedrige Teilchenenergie: $S_e(E) \sim \sqrt{E}$
  \item hohe, nicht relativistische Teilchenenergie: $S_e(E) = N \frac{4 \pi Z_1^2 Z_2^2 e^2}{m_e v_0^2} \textrm{ln} \, \Big( \frac{2 m_e v_0^2}{I} \Big)$
 \end{itemize}
 wobei
@@ -106,7 +106,7 @@ wobei
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-\subsubsection{nuklearer Energieverlust}
+\slideheading{nuklearer Energieverlust}
 Beschreibung durch elastischen Sto"s:
 \[
  T_n(E,p) = E \frac{2 M_1 M_2}{(M_1 + M_2)^2} (1 - \sin \theta)
@@ -122,7 +122,7 @@ wobei:
 \]
 Integration "uber alle alle m"oglichen Energien $T_n$, gewichtet mit deren Wahrscheinlichkeit liefert Bremsquerschnitt $S_n$:
 \[
- S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \partial \sigma(E,T_n)
+ S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \sigma(E,T_n) \partial \sigma
 \]
 \end{slide}
 
@@ -135,10 +135,10 @@ wobei $\phi$ Abschirmfunktion darstellt.
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-\subsubsection{Implanationsprofil}
+\slideheading{Implantationsprofil}
 Wegen Richtungs"anderungen der Ionen:
 \[
- R \neq \textrm{mittlere Implanationstiefe}
+ R \neq \textrm{mittlere Implantationstiefe}
 \]
 N"aherung des Konzentartionsprofils durch Gau"sverteilung:
 \[
@@ -155,9 +155,9 @@ mit:
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-Ionisationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM):
+Implantationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM):
 \\
-bild von maik requesten...
+\includegraphics[width=10cm,clip,draft=no]{implsim_.eps}
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
@@ -174,11 +174,11 @@ verlagerte Gitteratome kehren an Gitterplatz zur"uck, durch:
  \item ionenstrahlinduzierte Ausheilung
 \end{itemize}
 Beobachtung aus Experiment:\\
-Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (lediglich leichter Shift).
+$\rightarrow$ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft.
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-\section{Nannolamelare Selbstordnungsprozesse}
+\section{Nanolamellare Selbstordnungsprozesse}
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
@@ -186,14 +186,16 @@ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (ledig
 Parameter:
 \begin{itemize}
  \item niedrige Targettemperaturen, $T < 400$ Grad Celsius
- \item Implanation in $(100)$-orientiertes Silizium
+ \item Implantation in $(100)$-orientiertes Silizium
 \end{itemize}
 Beobachtungen an oberer Grenzfl"ache zur amorphen Schicht:\\
 $\rightarrow$ Bildung amorpher lamellarer Strukturen
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-bild von maik requesten...
+TEM-Aufnahme lamellarer und sph"arischer amorpher Gebiete:\\
+\\
+\includegraphics[width=10cm,clip,draft=no]{k393abild1_.eps}
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
@@ -209,11 +211,13 @@ Entstehung der geordneten amorphen Ausscheidungen:
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-Folgen:\\
+Folgen:
 \begin{itemize}
+ \item Nukleation amorpher sph"arischer Ausscheidungen
  \item F"orderung der Amorphisierung zwischen 2 Ausscheidungen
  \item Bildung amorpher lamellarer Strukturen
 \end{itemize}
+\includegraphics[width=10cm,clip,draft=no]{model1_.eps}
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
@@ -297,4 +301,8 @@ Beobachtungen in Abh"angigkeit der Parameter:
 parameter und bilder einfuegen...
 \end{slide}
 
+\begin{slide}
+\section{Ausblick}
+\end{slide}
+
 \end{document}