-\documentclass{seminar}
+\documentclass[semhelv]{seminar}
\usepackage{verbatim}
\usepackage[german]{babel}
\input{seminar.bug} % Official bugs corrections
\input{seminar.bg2} % Unofficial bugs corrections
+\articlemag{1}
+
\begin{document}
\extraslideheight{10in}
\slideframe{none}
+\def\slideleftmargin{.0in}
+\def\sliderightmargin{0in}
+\def\slidetopmargin{0in}
+\def\slidebottommargin{.2in} % fucking slide number gone now :)
+
% topic
\begin{slide}
\ptsize{8}
\begin{slide}
-\section*{Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen}
+{\large\bf
+ Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen
+}
\begin{figure}
\begin{center}
- \includegraphics[width=08cm,clip,draft=no]{k393abild1.eps}
- Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \quad C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$
+ \includegraphics[width=10cm]{k393abild1_.eps}
+ Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \textrm{ } C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$
\end{center}
\end{figure}
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Modell}
-\begin{figure}[t]
+{\large\bf
+ Modell
+}
+\begin{figure}
\begin{center}
- \includegraphics[width=6cm]{model1_german.eps}
+ \includegraphics[width=8cm]{model1_.eps}
\end{center}
\end{figure}
\begin{itemize}
\item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
\item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
\item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung
- \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete
+ \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
\item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ bevorzugte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
\end{itemize}
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Annahmen/N"aherungen}
+{\large\bf
+ Annahmen/N"aherungen
+}
\begin{figure}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=5cm]{implsim_new.eps}
- \emph{TRIM}-Implantationsprofil und Energieversluste
- \end{center}
+ \begin{picture}(200,0)(-140,80)
+ \includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps}
+ %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps}
+ \end{picture}
\end{figure}
-\end{slide}
-
-\begin{slide}
-\section*{Simulation}
\begin{itemize}
- \item Unterteilung des Silizium-Targets in Zellen ($x=50$, $y=50$, $z=100$)
- \item Zelle enth"alt folgende Eigenschaften/Informationen:
- \begin{itemize}
- \item Kantenl"ange $3nm$ (Simulationsfenster ist $300nm$ tief bei $100$ Zellen)
- \item Zustand: amorph/kristallin
- \item Kohlenstoffkonzentration
- \end{itemize}
- \end{itemize}
+ \item nukleare Bremskraft und \\ Konzentrationsprofil linear gen"ahert
+ \item Wahrscheinlichkeit der \\ Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft
+ \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$
+ \[
+ \left\{
+ \begin{array}{lll}
+ \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\
+ \textrm{\textcolor{red}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor{red}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\
+ \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap}
+ \end{array} \right .
+ \]
+\end{itemize}
+\[
+ \begin{array}{ll}
+ p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor{red}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\
+ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
+ \end{array}
+\]
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Simulation}
+{\large\bf
+ Simulation
+}
+\begin{figure}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps}
+ \end{center}
+\end{figure}
Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
\begin{enumerate}
\item Amorphisierung/Rekristallisation
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Simulation(1/3) - Amorphisierung/Rekristallisation}
+{\large\bf
+ 1) Amorphisierung/Rekristallisation
+}
\begin{itemize}
- \item zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess
- \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit
- \[
- \begin{array}{ll}
- p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\
- p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
- \end{array}
- \]
- $a_{cp}$ beschreibt kohlenstoffinduzierte Amorphisierung\\
- $b_{ap}$ beschreibt ballistische Amorphisierung\\
- $a_{ap}$ beschreibt spannungsinduzierte Amorphisierung
+ \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
+ \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$
\item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
\end{itemize}
-\end{slide}
-
-\begin{slide}
-\section*{Simulation(2/3) - \\ Einbau des implantierten Kohlenstoffions}
+\vspace{24pt}
+{\large\bf
+ 2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions
+}
+ \begin{picture}(200,0)(-180,100)
+ \includegraphics[width=6cm]{sim_window.eps}
+ \end{picture}
\begin{itemize}
\item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$
- \item zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung
+ \item gewichtete Wahl der Koordinaten \\ f"ur Kohlenstofferh"ohung
\end{itemize}
+\vspace{24pt}
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Simulation(3/3) - Diffusion}
+{\large\bf
+ 3) Diffusion \\
+}
Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt.
\begin{itemize}
- \item rein kristalline Diffusion:
+ \item Diffusion im Kristallinen:
\[
\Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{cc}
\]
- \item Diffusion von kristalline in amorphe Gebiete:
+ \item Diffusion von kristallinen in amorphe Gebiete:
\[
\Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
\]
\end{itemize}
-\end{slide}
-
-\begin{slide}
-\section*{Ergebnisse}
-variierte Parameter:
+{\large\bf
+ Variierte Parameter
+}
\begin{itemize}
\item Schrittzahl
\item Amorphisierung beschreibende Parameter
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Ergebnisse}
-Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen:
+{\large\bf
+ Ergebnisse
+}
\begin{itemize}
- \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungsparameter
- \item Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung
- \begin{figure}[h]
- \begin{center}
- \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_noZ.eps}
- \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z.eps}
- \caption{Messungen mit (rechts) und ohne (links) Diffusion von amorphen in kristalline Gebiete in $z$-Richtung}
- \end{center}
- \end{figure}
-\end{itemize}
+ \item \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen}
+ \item Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen:
+ \begin{itemize}
+ \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungswahrscheinlichkeiten
+ \item Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung
+ \begin{figure}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[height=5cm]{mit_ohne_diff.eps}
+ \end{center}
+ \end{figure}
+ \end{itemize}
+ \end{itemize}
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Ergebnisse}
-Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen
-\begin{figure}[h]
+{\large\bf
+ Ergebnisse \\
+}
+H"ohere Diffusionsrate $\rightarrow$ gr"o"serer Tiefenbereich
+\begin{figure}
\begin{center}
- \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_x-y_97.eps}
- \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_x-y_98.eps}
- \caption{Zwei aufeinander folgende Ebenen mit komplement"ar angeordneten amorphen und kristallinen Gebieten}
+ \includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps}
\end{center}
\end{figure}
\end{slide}
-
+
\begin{slide}
-\section*{Ergebnisse}
-Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnung auftritt
-\begin{figure}[h]
- \begin{center}
- \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_c-diff_x-z_21.eps}
- \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_0.2-ac-diff_y-z_28.eps}
- \caption{Messung mit verschiedenen amorph-kristallinen Diffusionsraten}
- \end{center}
+{\large\bf
+ Ergebnisse \\
+}
+Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen.
+\begin{figure}
+ \begin{picture}(100,60)(-40,40)
+ \includegraphics[width=6cm]{z_z_plus_1.eps}
+ \end{picture}
+ \begin{picture}(200,20)(-200,5)
+ Amorph/Kristalline Darstellung
+ \end{picture}
+ \begin{picture}(100,60)(-45,40)
+ \includegraphics[width=5cm]{c_conc_z_z_plus_1.eps}
+ \end{picture}
+ \begin{picture}(200,20)(-200,12)
+ Kohlenstoffverteilung
+ \end{picture}
\end{figure}
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Ergebnisse}
-Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme:
-\begin{figure}[t]
+{\large\bf
+ Vergleich mit TEM-Aufnahme \\
+}
+\begin{figure}
\begin{center}
- \includegraphics[height=3.5cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps}
- \includegraphics[height=3.5cm]{tem-if.eps}
- \caption{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
+ \includegraphics[height=6cm]{if_cmp2.eps}
\end{center}
\end{figure}
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Ausblick}
+{\large\bf
+ Zusammenfassung
+}
+\begin{itemize}
+ \item Einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen
+ \item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar
+\end{itemize}
+\vspace{32pt}
+{\large\bf
+ Ausblick
+}
\begin{itemize}
- \item mehrere Sto"sprozesse pro Durchlauf $\rightarrow$ Durchlauf entspricht einem implantierten Ion
- \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes)
- \item Intensivere Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung
\item Zusammenhang zwischen Simulations- und Implantationsparametern
+ \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes)
+ \item Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung
\end{itemize}
+\vspace{32pt}
+%\begin{flushleft}
+% {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\
+% {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
+%\end{flushleft}
\end{slide}
\end{document}
projects / lectures / latex.git / blobdiff