\begin{slide}
{\large\bf
- Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit
+ Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit \\
}
Beitr"age zur Amorphisierung
\begin{itemize}
\end{slide}
\begin{slide}
-Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
+{\large\bf
+ Simulationsalgorithmus
+}
\begin{enumerate}
- \item Amorphisierung/Rekristallisation
+ \item Amorphisierung/Rekristallisation
+ \begin{itemize}
+ \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
+ \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$
+ \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
+ \end{itemize}
\item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target
- \item Diffusionsprozess
+ \begin{itemize}
+ \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung entsprechend Implantationsprofil
+ \item lokale Erh"ohung des Kohelnstoffgehalts
+ \end{itemize}
+ \item Diffusionsprozess und Sputtern
+ \begin{itemize}
+ \item Kohelnstoffdiffusion von kristallinen in amorphe Gebiete alle $d_v$ Schritte:
+ \[
+ \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
+ \]
+ \item Nachr"ucken einer kristallinen kohlenstofffreien Ebene von oben
+ \end{itemize}
\end{enumerate}
\end{slide}
\begin{slide}
{\large\bf
- 1) Amorphisierung/Rekristallisation
+ Ergebnisse - Version 1
}
\begin{itemize}
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
- \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$
- \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
-\end{itemize}
-\vspace{24pt}
-{\large\bf
- 2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions
-}
- \begin{picture}(200,0)(-180,100)
- \includegraphics[width=6cm]{sim_window.eps}
- \end{picture}
-\begin{itemize}
- \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten \\ f"ur Kohlenstofferh"ohung
-\end{itemize}
-\vspace{24pt}
+ \item \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[height=6cm]{if_cmp3.eps}
+ \end{center}
+ \end{itemize}
\end{slide}
\begin{slide}
{\large\bf
- 3) Diffusion \\
-}
-Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt.
-\begin{itemize}
- \item Diffusion im Kristallinen:
- \[
- \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{cc}
- \]
- \item Diffusion von kristallinen in amorphe Gebiete:
- \[
- \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
- \]
-\end{itemize}
-{\large\bf
- Variierte Parameter
+ Ergebnisse - Version 1
}
\begin{itemize}
- \item Schrittzahl
- \item Amorphisierung beschreibende Parameter
- \item Diffusionsgeschwindigkeit und Diffusionsrate
- \item Diffusion in $z$-Richtung
- \item rein kristalline Diffusion
+ \item Einfluss der Diffusion
\end{itemize}
+\begin{tabular}{lr}
+ \includegraphics[height=5cm]{diff_einfluss.eps} &
+ \includegraphics[height=5cm]{sim2-a004-Z_and_noZ-TEMVIEW-ls.eps} \\
+\end{tabular}
\end{slide}
\begin{slide}
{\large\bf
- Ergebnisse
+ Ergebnisse - Version 1
}
\begin{itemize}
- \item \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen}
- \item Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen:
- \begin{itemize}
- \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungswahrscheinlichkeiten
- \item Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung
- \begin{figure}
- \begin{center}
- \includegraphics[height=5cm]{mit_ohne_diff.eps}
- \end{center}
- \end{figure}
- \end{itemize}
- \end{itemize}
-\end{slide}
-
-\begin{slide}
-{\large\bf
- Ergebnisse \\
-}
-H"ohere Diffusionsrate $\rightarrow$ gr"o"serer Tiefenbereich
-\begin{figure}
- \begin{center}
- \includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps}
- \end{center}
-\end{figure}
-\end{slide}
-
-\begin{slide}
-{\large\bf
- Ergebnisse \\
-}
-Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen.
-\begin{figure}
- \begin{picture}(100,60)(-40,40)
- \includegraphics[width=6cm]{z_z_plus_1.eps}
- \end{picture}
- \begin{picture}(200,20)(-200,5)
- Amorph/Kristalline Darstellung
- \end{picture}
- \begin{picture}(100,60)(-45,40)
- \includegraphics[width=5cm]{c_conc_z_z_plus_1.eps}
- \end{picture}
- \begin{picture}(200,20)(-200,12)
- Kohlenstoffverteilung
- \end{picture}
-\end{figure}
+ \item Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen.
+\end{itemize}
+\begin{tabular}{lr}
+ \includegraphics[height=7cm]{really_all_z-z_plus1.eps} &
+ \includegraphics[width=8cm]{ac_cconc_d.eps} \\
+\end{tabular}
\end{slide}
\begin{slide}
{\large\bf
- Vergleich mit TEM-Aufnahme \\
+ Ergebnisse - Version 2
}
\begin{figure}
\begin{center}
- \includegraphics[height=6cm]{if_cmp2.eps}
+ \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps}
\end{center}
\end{figure}
+Dosisentwicklung \\
+{\small a) $1.0 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
+{\small b) $3.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
+{\small c) $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
\end{slide}
\begin{slide}
Zusammenfassung
}
\begin{itemize}
- \item Einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen
+ \item einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen
\item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar
\end{itemize}
\vspace{32pt}
Ausblick
}
\begin{itemize}
- \item Zusammenhang zwischen Simulations- und Implantationsparametern
- \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes)
- \item Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung
+ \item mehr \dq Version 2 \dq{} - Versuche
+ \item Simulation anderer Ion-Target Kombinationen \\
+ $\rightarrow$ Zusammenhang zwischen Simulations und Implantationsparametern
\end{itemize}
\vspace{32pt}
-%\begin{flushleft}
-% {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\
-% {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-%\end{flushleft}
+\begin{flushleft}
+ {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\
+ {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
+\end{flushleft}
\end{slide}
\end{document}
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