\framesubtitle{Selbstorganisation}
\begin{columns}
\column{4.5cm}
- \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh}}
- \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg}}
- \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2}}
+ \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh.eps}}
+ \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg.eps}}
+ \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2.eps}}
\column{6.5cm}
\begin{enumerate}
\item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache
\begin{itemize}
\pause
\item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
- $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
+ $\rightarrow$ {\bf Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
\pause
- \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\
- $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
+ \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $3C-SiC$ und $c-Si$\\
+ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph}
\pause
- \item Geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
- $\rightarrow$ laterale Druckspannungen
+ \item $20 - 30\,\%$geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
+ $\rightarrow$ laterale {\bf Druckspannungen} auf Umgebung
\pause
- \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\
- $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$
+ \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten\\
+ $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
+ \pause
+ \item Druckspannungen\\
+ $\rightarrow$ {\bf spannungsunterst"utzte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
\end{itemize}}
\end{frame}
\framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallsiation}
\begin{block}{Rekristallisationswahrscheinlichkeit}
\[
- p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( \frac{1 - \sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
+ p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( 1 - \frac{\sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
\]
mit\\
\[
\begin{frame}
\frametitle{Simulation}
\framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
- \pause
\begin{block}{Sto"skoordinaten}
\begin{itemize}
\item $x,y$ gleichverteilt
\subsection{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe}
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Simulation, Version 1}
+ \begin{block}{Eigenschaften}
+ \begin{itemize}
+ \pause
+ \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil
+ \pause
+ \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion
+ \pause
+ \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft
+ \pause
+ \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$
+ \pause
+ \item Kein Sputtervorgang
+ \end{itemize}
+ \end{block}
+\end{frame}
+
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Erste Simulationen}
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=10cm]{low_to_high_dv.eps}
- %\includegraphics[width=10cm]{ls_dv_cmp.eps}
- \end{center}
+ \begin{columns}
+ \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps}
+ \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps}
+ \end{columns}
\end{frame}
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Einfluss der Druckspannung}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=10cm]{high_to_low_a.eps}
- %\includegraphics[width=10cm]{ps_einfluss_ls.eps}
- \end{center}
+ \begin{columns}
+ \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps}
+ \column{4cm}
+ \includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps}
+ \begin{center}
+ \scriptsize{
+ a) $p_s=0.002$\\
+ b) $p_s=0.003$\\
+ c) $p_s=0.004$\\
+ }
+ \end{center}
+ \end{columns}
\end{frame}
\begin{frame}
\end{columns}
\end{frame}
- \subsection{Simulation "uber den gesamten Tiefenbereich}
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 1}
+ \begin{itemize}
+ \item Modell/Simulation reproduziert die Bildung geordneter Lamellenstrukturen
+ \item Bildungsprozess nachvollziehbar durch die Simulation
+ \item hohe Anzahl an Simulationsdurchl"aufen,\\
+ kleine Amorphisierungswahrscheinlichkeiten
+ \item Diffusion essentiell, insbesondere die Diffusion in $z$-Richtung
+ \item hoher Beitrag durch kohlenstoffinduzierte Amorphisierung
+ \item Kohlenstoffverteilung im Einklang mit EFTEM-Aufnahme
+ \end{itemize}
+\end{frame}
+
+ \subsection{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Simulation, Version 2}
+ \begin{block}{Eigenschaften}
+ \begin{itemize}
+ \pause
+ \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil
+ \pause
+ \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM
+ \pause
+ \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft
+ \pause
+ \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$
+ \pause
+ \item Sputtervorgang
+ \end{itemize}
+ \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng1-2.eps}
+ \end{center}
+\end{frame}
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng2-2.eps}
+ \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+ \begin{columns}
+ \column{6cm}
+ \includegraphics[width=6cm]{position_al.eps}
+ \begin{center}
+ {\scriptsize Simulation}
+ \end{center}
+ \column{6cm}
+ \includegraphics[width=6cm]{a-d.eps}
+ \begin{center}
+ {\scriptsize Experiment}
+ \end{center}
+ \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[height=6.5cm]{ac_cconc_ver2_new_pres.eps}
+ \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung an den Grenzfl"achen zur amorphen Schicht}
+ \begin{center}
+ \scriptsize{
+ \begin{tabular}{|c|c|c|}
+ \hline
+ Dosis & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
+ \hline
+ $2,1 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 16 $at. \%$ & 13 $at. \%$ \\
+ \hline
+ $3,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 13 $at. \%$ & 14 $at. \%$ \\
+ \hline
+ $3,4 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 14 $at. \%$ & 12 $at. \%$ \\
+ \hline
+ \end{tabular}\\
+ Experiment\\
+ \begin{tabular}{|c|c|c|c|}
+ \hline
+ Durchl"aufe & \begin{minipage}{2.5cm} \begin{center} "aquivalente Dosis \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
+
+ \hline
+ $80 \times 10^6$ & $2,16 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,21 $at. \%$ & 16,62 $at. \%$ \\
+ \hline
+ $120 \times 10^6$ & $3,25 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,80 $at. \%$ & 17,67 $at. \%$ \\
+ \hline
+ $159 \times 10^6$ & $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 17,28 $at. \%$ & 17,73 $at. \%$ \\
+ \hline
+ \end{tabular}\\
+ Simulation}
+ \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps}
+ \end{center}
\end{frame}
\subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur}
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