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[lectures/latex.git] / nlsop / talk / talk_german.tex

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index e4b5d0d..167850d 100644 (file)
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -94,9 +94,9 @@ Universit"at Augsburg
   \framesubtitle{Selbstorganisation}
   \begin{columns}
     \column{4.5cm}
-      \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh}}
-      \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg}}
-      \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2}}
+      \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh.eps}}
+      \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg.eps}}
+      \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2.eps}}
     \column{6.5cm}
       \begin{enumerate}
         \item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache
@@ -203,16 +203,19 @@ Universit"at Augsburg
     \begin{itemize}
       \pause
       \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
+            $\rightarrow$ {\bf Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
       \pause
-      \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
+      \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $3C-SiC$ und $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph}
       \pause
-      \item Geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ laterale Druckspannungen
+      \item $20 - 30\,\%$geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ laterale {\bf Druckspannungen} auf Umgebung
       \pause
-      \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\
-            $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$
+      \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten\\
+            $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
+      \pause
+      \item Druckspannungen\\
+            $\rightarrow$ {\bf spannungsunterst"utzte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
     \end{itemize}}
 \end{frame}
 
@@ -542,10 +545,43 @@ Universit"at Augsburg
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
   \begin{center}
-    \includegraphics[width=6cm]{ac_cconc_ver2_new_pres.eps}
+     \includegraphics[height=6.5cm]{ac_cconc_ver2_new_pres.eps}
   \end{center}
 \end{frame}
 
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung an den Grenzfl"achen zur amorphen Schicht}
+      \begin{center}
+      \scriptsize{
+      \begin{tabular}{|c|c|c|}
+        \hline
+       Dosis & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
+       \hline
+       $2,1 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 16 $at. \%$ & 13 $at. \%$ \\
+        \hline
+        $3,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 13 $at. \%$ & 14 $at. \%$ \\
+        \hline
+        $3,4 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 14 $at. \%$ & 12 $at. \%$ \\
+        \hline
+      \end{tabular}\\
+      Experiment\\
+      \begin{tabular}{|c|c|c|c|}
+        \hline
+       Durchl"aufe & \begin{minipage}{2.5cm} \begin{center} "aquivalente Dosis \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
+
+       \hline
+       $80 \times 10^6$ & $2,16 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,21 $at. \%$ & 16,62 $at. \%$ \\
+        \hline
+        $120 \times 10^6$ & $3,25 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,80 $at. \%$ & 17,67 $at. \%$ \\
+        \hline
+        $159 \times 10^6$ & $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 17,28 $at. \%$ & 17,73 $at. \%$ \\
+        \hline
+      \end{tabular}\\
+      Simulation}
+      \end{center}
+\end{frame}
+
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter}