\begin{block}{Funktionsweise}
\begin{itemize}
\item Ionisation des Atoms/Molek"uls
- \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
+ \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($10^2 \, eV - \, GeV$)
\item Bestrahlung eines Festk"orpers
\end{itemize}
\end{block}
\pause
\item Energieverlust durch St"o"se
\pause
- \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_d$
+ \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_k$
\pause
\item Abbildung von Zufallszahlen auf:
\begin{itemize}
\begin{block}{Name}
{\bf N}ano {\bf L}amellar {\bf S}elbst{\bf o}rganisations{\bf p}rozess
\end{block}
- \begin{block}{Grober Ablauf}
- \begin{itemize}
- \item Amorphisierung/Rekristallisation
- \item Kohlenstoffeinbau
- \item Diffusion/Sputtern
- \end{itemize}
- \end{block}
- \begin{block}{Versionen}
- \begin{itemize}
- \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe
- \item Version 2 - Simulation "uber den ganzen Tiefenbereich
- \end{itemize}
- \end{block}
-\end{frame}
-
-\begin{frame}
- \frametitle{Simulation}
- \framesubtitle{Unterteilung des Targets}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=8cm]{gitter_oZ.eps}
- \end{center}
+ \begin{columns}
+ \column{6cm}
+ \scriptsize{
+ \begin{block}{Grober Ablauf}
+ \begin{itemize}
+ \item Amorphisierung/Rekristallisation
+ \item Kohlenstoffeinbau
+ \item Diffusion/Sputtern
+ \end{itemize}
+ \end{block}
+ \begin{block}{Versionen}
+ \begin{itemize}
+ \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe
+ \item Version 2 - Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich
+ \end{itemize}
+ \end{block}
+ }
+ \column{6cm}
+ \includegraphics[width=6cm]{gitter_oZ.eps}
+ \begin{center}
+ \scriptsize{Unterteilung des Targets}
+ \end{center}
+ \end{columns}
\end{frame}
\begin{frame}
\end{itemize}
\end{block}
\pause
- \begin{block}{Sputterablauf alle $s$ Schritte}
+ \begin{block}{Sputterablauf alle $S$ Schritte}
\begin{itemize}
\pause
\item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach Ebene $i-1$\\
- $i \in Z,Z-1,\ldots,2$
+ $i = 2,3,\ldots,Z-1,Z$
\pause
\item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin
\pause
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
- \framesubtitle{Erste Simulationen}
+ \framesubtitle{Erste Simulationen, $s=3 \times 10^5$, $p_c=0$}
\begin{center}
\includegraphics[width=10cm]{first_sims.eps}
\end{center}
\scriptsize{
$\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\
$\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\
- $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen\\}
+ $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen $\rightarrow$ $2$ bzw. $3 \times 10^7$\\}
\end{frame}
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
- \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme}
+ \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme, $p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.003$, $d_v=10$, $d_r=0.5$}
\color{red}{Lamellare Strukturen}
\begin{center}
\includegraphics[width=10cm]{if_cmp3.eps}
\begin{columns}
\column{6cm}
\includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss.eps}
+ \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.004$, $d_v=10$}
\column{6cm}
\includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps}
\end{columns}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$}
\begin{columns}
- \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps}
+ \column{8cm}
+ \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps}
+ \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.003$, $d_r=0.5$}
\column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps}
\end{columns}
\end{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Einfluss der Druckspannung}
\begin{columns}
- \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps}
+ \column{8cm}
+ \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps}
+ \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $d_v=10$, $d_r=0.5$}
\column{4cm}
\includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps}
\begin{center}
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Variation der Simulationsparameter}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps}
- \end{center}
+ \begin{columns}
+ \column{8.5cm}
+ \includegraphics[width=8.5cm]{var_sim_paramters.eps}
+ \column{0.5cm}
+ \column{3cm}
+ \scriptsize{
+ \[
+ \begin{array}{ccl}
+ p_b & = & 0.01 \\
+ p_c & = & 0.001 \\
+ p_s & = & 0.0001 \\
+ d_r & = & 0.05 \\
+ d_v & = & 10^6 \\
+ s & = & 158 \times 10^6
+ \end{array}
+ \]
+ }
+ \end{columns}
\end{frame}
\begin{frame}
\section{Zusammenfassung und Ausblick}
+ \subsection{Zusammenfassung}
+
\begin{frame}
\frametitle{Zusammenfassung}
\begin{itemize}
\item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experiemntellen Befunde
\pause
\item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich
+ \pause
\item Vorhersage zur Herstellung gro"ser Bereiche lamellar geordneter Strukturen
\end{itemize}
\end{frame}
+ \subsection{Ausblick}
+
\begin{frame}
\frametitle{Ausblick}
\begin{itemize}
\pause
\item Simulation: Variation der Ionensorte/Temperatur\\
+ \footnotesize{
$\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter vom Materialsystem\\
- $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter von der Temperatur
+ $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter von der Temperatur}
\pause
+ \normalsize{
\item Experimentell: "Uberpr"ufung der Vorhersage
+ }
\end{itemize}
\end{frame}