fucked up my talk to switch to beamer class
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index 2696795..e479151 100644 (file)
@@ -1,5 +1,10 @@
-\documentclass[pdf,hdw]{prosper}
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+{
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+}
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-\begin{document}
-
 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
-\author{Frank Zirkelbach}
-\email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
-\slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
-\Logo{\includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}}
+\author[F. Zirkelbach]{Frank Zirkelbach \\ \texttt{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}}
+\institute{
+Institut f"ur Physik\\
+Lehrstuhl f"ur Experimentalphysik IV\\
+Universit"at Augsburg
+}
+\pgfdeclareimage[height=1cm]{lst-logo}{Lehrstuhl-Logo.eps}
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+
+\begin{document}
 
 
-\maketitle
+\begin{frame}
+  \titlepage
+}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{"Uberblick}
+
+\end{frame}
 
 
-\overlays{8}{
 \begin{slide}{"Uberblick}
 \begin{slide}{"Uberblick}
-\begin{itemstep}
+\begin{itemize}
   \item Motivation
   \item Motivation
-  \item Grundlagen der Ionenimplantation
+  \item Grundlagen
   \item Experimentelle Befunde
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
   \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
   \item Experimentelle Befunde
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
   \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\overlays{5}{
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Funktionsweise:
+\begin{itemstep}
+ \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
+ \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
+ \item Bestrahlung eines Festk"orpers
 \end{itemstep}
 \end{itemstep}
+\FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\
+\vspace{15pt}
+\FromSlide{5}{
+Industrielle Anwendung:\\
+Dotierung von Halbleiterkristallen}
 \end{slide}}
 
 \end{slide}}
 
-\overlays{3}{
-\begin{slide}{Motivation}
-Ionenimplantation
-\begin{itemstep}
- \item exakte Dosierbarkeit
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Vorteile:
+\begin{itemize}
+ \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
  \item Reproduzierbarkeit
  \item Reproduzierbarkeit
+ \item Homogenit"at
+ \item Schnelligkeit
  \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
  \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
-\end{itemstep}
+ \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\overlays{3}{
+\begin{slide}{Selbstorganisation}
+\begin{tabular}{c}
+  \begin{tabular}{ll}
+    \begin{minipage}{3.5cm}
+      \onlySlide*{1}{\includegraphics[width=3cm]{ripple_bh.eps}}
+      \onlySlide*{2}{\includegraphics[width=3cm]{bin_leg.eps}}
+      \onlySlide*{3}{\includegraphics[width=3cm]{bolse2.eps}}
+    \end{minipage} &
+    \begin{minipage}{7.5cm}
+      \begin{itemstep}
+       \item Entstehung von Riffeln auf der Targetoberfl"ache
+       \item separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
+       \item periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
+      \end{itemstep}
+    \end{minipage}
+  \end{tabular} \\
+%\FromSlide{1}{{\footnotesize 1) R. M. Bradley, J. M. E. Harper. J. Vac. Sci. Technol. A6 (1988) 2390\\}}
+%\FromSlide{2}{{\footnotesize 2) R. A. Enrique, P. Bellon. Phys. Rev. Lett. 60 (1999) 14649\\}}
+%\FromSlide{3}{{\footnotesize 3) W. Bolse, B. Schattat, A. Feyh. Appl. Phys. A 77 (2003) 11\\}}
+\end{tabular}
+\end{slide}}
+
+\overlays{2}{
+\begin{slide}{Grundlagen}
+Abbremsung der Ionen
+  \begin{tabular}{ll}
+    \begin{minipage}[l]{5cm}
+      \onlySlide{1}{$- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( {\red S_n(E)} +$ \ldots}
+      \onlySlide{2}{$- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( {\red S_n(E)} + {\blue S_e(E)} \Big)$}
+    \end{minipage} &
+    \begin{minipage}[l]{6cm}
+      \begin{itemstep}
+        \item {\red nukleare Bremskraft}\\
+              elastischer Sto"s mit Atomkernen des Targets
+        \item {\blue elektronische Bremskraft}\\
+              inelastischer Sto"s mit Elektronen des Targets
+      \end{itemstep}
+    \end{minipage}
+  \end{tabular}
 \end{slide}}
 
 
 \end{slide}}