\begin{itemize}
\item SiC als HL-Bauelemente f"ur Anwendungen unter extremen Bedingungen
\item Schwierigkeiten in der Herstellung d"unner SiC-Schichten
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\item SiC als HL-Bauelemente f"ur Anwendungen unter extremen Bedingungen
\item Schwierigkeiten in der Herstellung d"unner SiC-Schichten