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@@ -98,7 +98,7 @@ Beside the mentioned electrical capabilities the mechanical stability, which is
 Among the different polytypes of SiC, the cubic phase shows a high electron mobility and the highest break down field as well as saturation drift velocity~\cite{neudeck95,wesch96}.
 In contrast to its hexagonal counterparts 3C-SiC exhibits isotropic mechanical and electronic properties.
 Additionally the smaller band gap is expected to be favorable concerning the interface state density in MOSFET devices fabricated on 3C-SiC~\cite{pensl00}.
-Thus the cubic phase is most effective for highly efficient high-performance electronic devices.
+Thus, the cubic phase is most effective for highly efficient high-performance electronic devices.
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 \includegraphics[width=0.35\columnwidth]{sic_unit_cell.eps}