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index b2b71b1..34c1256 100644 (file)
@@ -81,8 +81,8 @@ However, even for GaN based diodes SiC turns out to be of great importance since
 As such, SiC will continue to play a major role in the production of future super-bright visible emitters.
 Especially substrates of the 3C polytype promise good quality, single crystalline GaN films~\cite{takeuchi91,yamamoto04,ito04,haeberlen10}.
 
-The focus of SiC based applications, however, is in the area of solid state electronics experiencing revolutionary performance improvements enabled by its capabilities~\cite{wesch96,morkoc94,casady96,capano97,pensl93,park98,edgar92,sarro00}.
-These devices include ultraviolet (UV) detectors, high power radio frequency (RF) amplifiers, rectifiers and switching transistors as well as microelectromechanical system (MEMS) applications.
+The focus of SiC based applications, however, is in the area of solid state electronics experiencing revolutionary performance improvements enabled by its capabilities~\cite{wesch96,morkoc94,casady96,capano97,pensl93,park98,edgar92}.
+These devices include ultraviolet (UV) detectors~\cite{brown93,yan04}, high power radio frequency (RF) amplifiers, rectifiers and switching transistors~\cite{pribble02,baliga96,weitzel96,zhu08,bhatnagar92,bhatnagar93,ryu01} as well as microelectromechanical system (MEMS) applications~\cite{sarro00}.
 For UV detectors the wide band gap is useful for realizing low photodiode dark currents as well as sensors that are blind to undesired near-infrared wavelengths produced by heat and solar radiation.
 These photodiodes serve as excellent sensors applicable in the monitoring and control of turbine engine combustion.
 The low dark currents enable the use in X-ray, heavy ion and neutron detection in nuclear reactor monitoring and enhanced scientific studies of high-energy particle collisions as well as cosmic radiation.
@@ -157,7 +157,10 @@ The porous material constitutes a severe source of contamination, e.g. with the
 Since the vapor pressure of Si is much higher than that of C, a careful manipulation of the Si vapor content above the seed crystal is required.
 Additionally, to preserve epitaxial growth conditions, graphitization of the seed crystal has to be avoided.
 Avoiding defects constitutes a major difficulty.
-These defects include growth spirals (stepped screw dislocations), subgrain boundaries and twins as well as micropipes (micron sized voids extending along the c axis of the crystal) and 3C inclusions at the seed crystal in hexagonal growth systems.
+These defects include growth spirals (stepped screw dislocations), subgrain boundaries and twins as well as micropipes (micron sized voids extending along the
+%c axis of the crystal)
+core of screw dislocations)~\cite{frank51,heindl97}
+and 3C inclusions at the seed crystal in hexagonal growth systems.
 Micropipe-free growth of 6H-SiC has been realized by a reduction of the temperature gradient in the sublimation furnace resulting in near-equilibrium growth conditions in order to avoid stresses, which is, however, accompanied by a reduction of the growth rate~\cite{schulze98}.
 Further efforts have to be expended to find relations between the growth parameters, the kind of polytype and the occurrence and concentration of defects, which are of fundamental interest and might help to improve the purity of the bulk materials.