\chapter{Grundlagen}
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+ \section{Monte Carlo Simulation}
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+ \section{Ionenimplantation}
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+ \subsection{Abbremsung von Ionen}
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+ \subsubsection{Bremsquerschnitt}
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+ \subsubsection{Nukleare Bremskraft}
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+ \subsubsection{Elektronische Bremskraft}
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+ \subsection{Implantationsprofil}
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+ \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung}