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index 292a376251b52bb0c256140cc47671ae3c74c252..f896fffa2af251ab6ad2917e06b65af9dae7f349 100644 (file)
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@@ -71,10 +71,10 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     F"ur den Vergleich mit der TEM-Aufnahme wurde der linke Teil der Aufnhame abgeschnitten und auf $100$ Bildpunkte in der H"ohe skaliert.
     \begin{figure}[!h]
     \includegraphics[width=12cm]{tem_cmp_ls.eps}
-    \caption{Vergleich der Linescans der fouriertransformierten TEM-Aufnahme und des Simulationsergebnisses}
+    \caption{Vergleich der Linescans der fouriertransformierten TEM-Aufnahme und der Cross-Section der Simulation}
     \label{img:tem_cmp_ls}
     \end{figure}
-    Abbildung \ref{img:tem_cmp_ls} zeigt den Vergleich der Linescans der fouriertransformierten TEM-Aufnahme und des Simulationsergebisses.
+    Abbildung \ref{img:tem_cmp_ls} zeigt den Vergleich der Linescans der fouriertransformierten TEM-Aufnahme und der Cross-Section der Simulation.
     Im Gegensatz zur Simulation hat die TEM-Aufnahme eine sehr hohe Helligkeit, was ein grosses Maxima bei der Ortsfrequenz Null zur Folge hat.
     Daher sind Maxima anderer Frequenzen schlecht zu erkennen.
     Bei genauerem Hinsehen erkennt man, zum Beispiel f"ur die Ortsfrequenz $f_y = -0,125 nm^{-1}$, ein lokales Maximum in der Intensit"at.
@@ -145,9 +145,14 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     Neben der Diffusionsrate $d_r$ beschreibt der Simulationparameter $d_v$ den Diffusionsprozess.
     Dieser gibt an wie oft der Diffusionsschritt ausgef"uhrt wird.
     In Abbildung \ref{img:dv_influence} sind Simulationsergebnisse f"ur verschiedene $d_v$ abgebildet.
-    Man erkennt ein minimale Abnahme des lamellaren Tiefenbereichs von ungef"ahr .
-    Weiterhin f"allt die 
+    Erstaunlichwerweise scheint dieser Parameter keinen allzu grossen Einfluss auf das Ergebnis zu haben.
+    Man erkennt eine minimale Abnahme des lamellaren Tiefenbereichs von ungef"ahr $10 nm$.
     
+    \begin{figure}[h]
+    \includegraphics[width=12cm]{ls_dv_cmp.eps}
+    \caption{Linescan der fouriertransformierten Cross-Sections von Simulationen mit $d_v=10$ und $d_v=10000$. Simulationsparameter: $p_b=0$, $p_c=0,0001$, $p_s=0,003$, $d_r=0,5$, $s=2 \times 10^{7}$}
+    \label{img:dv_ls}
+    \end{figure}
 
     \subsection{Einfluss der Druckspannungen}
 
@@ -169,7 +174,7 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
 
     \begin{figure}[h]
     \includegraphics[width=12cm]{ls_cmp_002-004.eps}
-    \caption{Linescan der fouriertransformierten Simulationsergebnisse mit $p_s=0,002$ und $p_s=0,004$. Simulationsparameter: $p_b=0$, $p_c=0,0001$, $d_r=0,5$, $d_v=10$, $s=2 \times 10^{7}$}
+    \caption{Linescan der fouriertransformierten Cross-Sections von Simulationen mit $p_s=0,002$ und $p_s=0,004$. Simulationsparameter: $p_b=0$, $p_c=0,0001$, $d_r=0,5$, $d_v=10$, $s=2 \times 10^{7}$}
     \label{img:p_s_per}
     \end{figure}
     In Abbildung \ref{img:p_s_per} sind die Linescans der fouriertransformierten Cross-Sections mit $p_s=0,002$ und $p_s=0,004$ zu sehen (Abbildung \ref{img:p_s_influence} (b,d)).