Sto"skoordinaten werden entsprechend der nuklearen Bremskraft gew"ahlt, der Einbau des Kohlenstoffs erfolgt gem"a"s des Implantationsprofils.
Die Sputterroutine wird gestartet sobald die implantierte Dosis der Dosis entspricht, die $3 nm$ Abtrag zur Folge hat.
- In ersten Simulationsl"aufen wurde zun"achst versucht die durchgehende amorphe $SiC_x$-Schicht zu reproduzieren.
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\subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
- Abbildung x zeigt den Vergleich der \ldots
+ \begin{figure}[h]
+ \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung3.eps}
+ \caption{Vergleich der experimentellen und simulierten Dosisentwicklung bei a) $1,0 \times 10^{17} cm^{-2}$, b) $2,1 \times 10^{17} cm^{-2}$, c) $3,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ und d) $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$. Simulationsparameter: $p_b=0,01$, $p_c=0,001$, $p_s=0,0001$, $d_r=0,05$, $d_v=1 \times 10^{6}$.}
+ \label{img:dose_devel}
+ \end{figure}
+
+ Abbildung \ref{img:dose_devel} zeigt im Vergleich die experimentelle und simulierte Dosisentwicklung.
+ Man erkennt eine gute "Ubereinstimmung zwischen Experiment und Simulation.
+ Bis
\subsection{Variation der Simulationsparameter}