\begin{itemize}
\pause
\item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
- $rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
+ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
\pause
- \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$
- $rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
+ \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\
+ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
\pause
- \item Dichtereduktion des amorphen $SiC_x$
- $rightarrow$ laterale Druckspannungen
+ \item Dichtereduktion des amorphen $SiC_x$\\
+ $\rightarrow$ laterale Druckspannungen
\pause
- \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff
+ \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\
$\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$
\end{itemize}
\end{frame}