\end{figure}
\begin{center}
\large\bf
- Monte-Carlo-Simulation zur Untersuchung des Selbstorganisationsvorganges bei der Bildung von $SiC_x$-Ausscheidungs-Arrays in $C^+$-Ionen-implantiertem Silizium
+ Kinetik des Selbstorganisationsvorgangs bei der Bildung von $SiC_x$-Ausscheidungs-Arrays in $C^+$-Ionen-implantiertem Silizium
\end{center}
\begin{center}
F. Zirkelbach, M. H"aberlen, J. K. N. Lindner und B. Stritzker
\end{center}
\end{figure}
\begin{itemize}
+ \small
\item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
\item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
\item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
\begin{slide}
{\large\bf
- Annahmen/N"aherungen
+ Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit
}
-\begin{figure}
- \begin{picture}(200,0)(-140,80)
- \includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps}
- %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps}
- \end{picture}
-\end{figure}
+Beitr"age zur Amorphisierung
\begin{itemize}
- \item nukleare Bremskraft und \\ Konzentrationsprofil linear gen"ahert
- \item Wahrscheinlichkeit der \\ Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft
- \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$
- \[
- \left\{
- \begin{array}{lll}
- \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\
- \textrm{\textcolor{red}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor{red}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\
- \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap}
- \end{array} \right .
- \]
+ \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
+ \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
+ \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
\end{itemize}
+Berechnung der Wahrscheinlichkeiten
\[
\begin{array}{ll}
- p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor{red}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\
- p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
+ \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
+ p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\
\end{array}
\]
+\begin{displaymath}
+ \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll}
+ 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
+ 0 & \textrm{sonst} \\
+ \end{array} \right.
+\end{displaymath}
\end{slide}
\begin{slide}
{\large\bf
Simulation
}
-\begin{figure}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps}
- \end{center}
-\end{figure}
+
+ \includegraphics[width=7cm]{gitter_oZ.eps}
+ %\includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps}
+ %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps}
+\begin{tabular}{cc}
+Version 1 & Version 2 \\
+\hline{}
+$64 \times 64 \times 100$ Zellen & $64 \times 64 \times 233$ Zellen \\
+foo & bar \\
+\end{tabular}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
\begin{enumerate}
\item Amorphisierung/Rekristallisation