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authorhackbard <hackbard>
Tue, 22 Feb 2005 22:02:51 +0000 (22:02 +0000)
committerhackbard <hackbard>
Tue, 22 Feb 2005 22:02:51 +0000 (22:02 +0000)
nlsop/nlsop_dpg_2005.tex

index d6ba2de..62a6d3b 100644 (file)
@@ -49,7 +49,7 @@
 \end{figure}
 \begin{center}
  \large\bf
Monte-Carlo-Simulation zur Untersuchung des Selbstorganisationsvorganges bei der Bildung von $SiC_x$-Ausscheidungs-Arrays in $C^+$-Ionen-implantiertem Silizium
Kinetik des Selbstorganisationsvorgangs bei der Bildung von $SiC_x$-Ausscheidungs-Arrays in $C^+$-Ionen-implantiertem Silizium
 \end{center}
 \begin{center}
  F. Zirkelbach, M. H"aberlen, J. K. N. Lindner und B. Stritzker
@@ -81,6 +81,7 @@
  \end{center}
 \end{figure}
 \begin{itemize}
+ \small
  \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
  \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
  \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
 
 \begin{slide}
 {\large\bf
- Annahmen/N"aherungen
+ Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit
 }
-\begin{figure}
- \begin{picture}(200,0)(-140,80)
-  \includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps}
-  %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps}
- \end{picture}
-\end{figure}
+Beitr"age zur Amorphisierung
 \begin{itemize}
- \item nukleare Bremskraft und \\ Konzentrationsprofil linear gen"ahert
- \item Wahrscheinlichkeit der \\ Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft
- \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$
-  \[
-  \left\{
-   \begin{array}{lll}
-    \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\
-    \textrm{\textcolor{red}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor{red}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\
-    \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap}
-   \end{array} \right .
-  \]
+ \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
+ \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
+ \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
 \end{itemize}
+Berechnung der Wahrscheinlichkeiten
 \[
  \begin{array}{ll}
-  p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor{red}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\
-  p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
+  \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
+  p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\
  \end{array}
 \]
+\begin{displaymath}
+ \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll}
+  1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
+  0 & \textrm{sonst} \\
+ \end{array} \right.
+\end{displaymath}
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
 {\large\bf
  Simulation
 }
-\begin{figure}
- \begin{center}
-  \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps}
- \end{center}
-\end{figure}
+
+  \includegraphics[width=7cm]{gitter_oZ.eps}
+  %\includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps}
+  %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps}
+\begin{tabular}{cc}
+Version 1 & Version 2 \\
+\hline{}
+$64 \times 64 \times 100$ Zellen & $64 \times 64 \times 233$ Zellen \\
+foo & bar \\
+\end{tabular}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
 Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
 \begin{enumerate}
  \item Amorphisierung/Rekristallisation