oups ;)

diff --git a/nlsop/nlsop.tex b/nlsop/nlsop.tex
index 91c192338adb1b7be489ba56612be4479a9cd4a2..1d1bc26d9a75f457a3516dcf3dd6ff1ff9d238dd 100644 (file)
--- a/nlsop/nlsop.tex
+++ b/nlsop/nlsop.tex
@@ -122,7 +122,7 @@ wobei:
 \]
 Integration "uber alle alle m"oglichen Energien $T_n$, gewichtet mit deren Wahrscheinlichkeit liefert Bremsquerschnitt $S_n$:
 \[
- S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \partial \sigma(E,T_n)
+ S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \sigma(E,T_n) \partial \sigma
 \]
 \end{slide}
 
@@ -135,10 +135,10 @@ wobei $\phi$ Abschirmfunktion darstellt.
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-\slideheading{Implanationsprofil}
+\slideheading{Implantationsprofil}
 Wegen Richtungs"anderungen der Ionen:
 \[
- R \neq \textrm{mittlere Implanationstiefe}
+ R \neq \textrm{mittlere Implantationstiefe}
 \]
 N"aherung des Konzentartionsprofils durch Gau"sverteilung:
 \[
@@ -155,7 +155,7 @@ mit:
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-Ionisationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM):
+Implantationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM):
 \\
 bild von maik requesten...
 \end{slide}
@@ -178,7 +178,7 @@ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (ledig
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
-\section{Nannolamelare Selbstordnungsprozesse}
+\section{Nanolamelare Selbstordnungsprozesse}
 \end{slide}
 
 \begin{slide}
@@ -186,7 +186,7 @@ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (ledig
 Parameter:
 \begin{itemize}
  \item niedrige Targettemperaturen, $T < 400$ Grad Celsius
- \item Implanation in $(100)$-orientiertes Silizium
+ \item Implantation in $(100)$-orientiertes Silizium
 \end{itemize}
 Beobachtungen an oberer Grenzfl"ache zur amorphen Schicht:\\
 $\rightarrow$ Bildung amorpher lamellarer Strukturen