{\large\bf
"Uberblick
}
+\begin{picture}(300,30)
+\end{picture}
\begin{itemize}
- \item TEM-Aufnahme selbstorganisierter $SiC_x$-Ausscheidungen
+ \item selbstorganisierte $SiC_x$-Ausscheidungen
\item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsprozesses
\item Umsetzung des Modells in eine Monte-Carlo-Simulation
- \item Ergebnisse
- \begin{itemize}
- \item Einfluss der Diffusion
- \item Vergleich von Simulationsergebnissen mit TEM-Aufnahmen
- \item Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung
- \end{itemize}
+ \item Vergleich von Simulationsergebnissen mit experimentellen Befunden
\item Zusammenfassung
\end{itemize}
\end{slide}
\end{figure}
\scriptsize
\begin{itemize}
- \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
- \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
- \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
- \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung
- \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
- \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ bevorzugte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
+ \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ {\bf Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
+ \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph}
+ \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ {\bf Druckspannungen} auf Umgebung
+ \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ {\bf Relaxation} der Druckspannung in $ {\bf z}$-{\bf Richtung}
+ \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
+ \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ {\bf bevorzugte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
\end{itemize}
\end{slide}