nlsop/diplom/ergebnisse.tex

   1 \chapter{Ergebnisse}
   2
   3   \section{Simulation bis $300 nm$ Tiefe}
   4
   5     \subsection{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
   6
   7     \subsection{Notwendigkeit der Diffusion}
   8
   9     \subsection{Einfluss der Druckspannungen}
  10
  11     \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
  12
  13   \section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
  14
  15     \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
  16
  17     \subsection{Variation der Simulationsparameter}
  18
  19     \subsection{Kohlenstoffverteilung}
  20
  21     \subsection{Variation der Ion-Target-Kombination}
  22