nlsop/diplom/ergebnisse.tex

   1 \chapter{Ergebnisse}
   2 \label{chapter:ergebnisse}
   3
   4   \section{Simulation bis $300 nm$ Tiefe}
   5
   6     \subsection{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
   7
   8     \subsection{Notwendigkeit der Diffusion}
   9
  10     \subsection{Einfluss der Druckspannungen}
  11
  12     \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
  13
  14   \section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
  15
  16     \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
  17
  18     \subsection{Variation der Simulationsparameter}
  19
  20     \subsection{Kohlenstoffverteilung}
  21
  22     \subsection{Variation der Ion-Target-Kombination}
  23