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   1 \chapter{Ergebnisse}
   2 \label{chapter:ergebnisse}
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   4 Im Folgenden sollen die Ergebnisse der Simulation diskutiert werden.
   5 Dabei werden Simulationsergebnisse mit experimentell erfassten Ergebnissen aus \cite{maik_da} verglichen.
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   7 Weiterhin soll der in Kapitel \ref{chapter:modell} vorgestellte Bildungsmechanismus der amorphen $SiC_x$-Phasen in $Si$ verifiziert werden.
   8 Hierbei wird vorallem der Einfluss einzelner Simulationsparameter, wie Diffusion und St"arke der Druckspannungen, auf den Selbstorganisationsprozess untersucht.
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  10 Unter der Annahme der Richtigkeit des Modells und seiner Umsetzung k"onnen sehr leicht Aussagen "uber die Struktur und Zusammensetzung an jedem beliebigen Ort des Targets w"ahrend des Ordnungsprozesses gemacht werden.
  11 Diese Information ist experimentell sehr schwer zug"anglich.
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  13 Zun"achst werden die Ergebnisse der Simulationen bis $300 nm$ Tiefe vorgestellt.
  14 Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich diskutiert.
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  16   \section{Simulation bis $300 nm$ Tiefe}
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  18   Die erste Version der Simulation behandelt den Tiefenbereich bis $300 nm$.
  19   Wie in Abschnitt \ref{section:sim_tiefenbereich} beschrieben, kann das Implantationsprofil und die nukleare Bremskraft in diesem Bereich linear gen"ahert werden.
  20   Es besteht kein Zusammenhang zwischen Anzahl der Durchl"aufe und der implantierten Dosis.
  21   In jedem Durchlauf wird nur ein Sto"sprozess, der zur Amorphisierung beziehungsweise Rekristallisation eines Targetvolumens f"uhren kann betrachtet.
  22   Diffusion des Kohlenstoffs von kristallinen in amorphe Gebiete findet statt.
  23   Sputtereffekte k"onnen wegen fehlender Information "uber Kohlenstoffgehalt und die amorph/kristalline Struktur in tieferen Ebenen nicht beachtet werden.
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  25     \subsection{Erste Simulationsdurchl"aufe}
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  27     In den ersten Simulationen wurde zun"achst das Abbruchkriterium f"ur den Einflussbereich der Druckspannungen der amorphen Gebiete auf die kristalline $Si$-Matrix untersucht.
  28     Ein Abbruchkriterium ist zum einem wegen der Behandlung eines in $x-y$-Richtung unendlich ausgedehnten Festk"orpers, realisiert durch periodische Randbedingungen, und zum anderen wegen schnellerer Berechnung der Druckspannungen n"otig.
  29     Eine Erh"ohung des Einflussbereichs von $4$ auf $6$ Volumen zeigt eine gr"ossere Menge an amorphen Gebieten, die lamellare Ordnung der Ausscheidungen steigt jedoch nicht an.
  30     Aus den oben genannten Gr"unden wurde f"ur alle weiteren Simulationen ein Einflussbereich von $5$ Volumen gew"ahlt.
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  32     EDIT: Variation von $p_s$ bringt nicht viel, man brauch hohe Schrittzahl.\\
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  34     \subsection{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
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  38     \subsection{Notwendigkeit der Diffusion}
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  40     \subsection{Einfluss der Druckspannungen}
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  42     \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
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  44   \section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
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  46     \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
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  48     \subsection{Variation der Simulationsparameter}
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  50     \subsection{Kohlenstoffverteilung}
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  52     \subsection{Variation der Ion-Target-Kombination}
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