nlsop/diplom/grundlagen.tex

   1 \chapter{Grundlagen}
   2
   3   \section{Monte Carlo Simulation}
   4
   5   \section{Ionenimplantation}
   6
   7     \subsection{Abbremsung von Ionen}
   8
   9       \subsubsection{Bremsquerschnitt}
  10
  11       \subsubsection{Nukleare Bremskraft}
  12
  13       \subsubsection{Elektronische Bremskraft}
  14
  15     \subsection{Implantationsprofil}
  16
  17     \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung}