nlsop/diplom/literatur.tex

   1 \addcontentsline{toc}{chapter}{Literaturverzeichnis}
   2 \begin{thebibliography}{99}
   3   \bibitem{herstellung_sic_schicht} J. K. N. Lindner, K. Volz, U. Preckwinkel, B. G"otz, A. Frohnwieser, B. Rauschenbach, B. Stritzker. Mat. Chem. and Phys. 46 (1996) 147.
   4   \bibitem{vorstellung_modell} J. K. N. Lindner, M. H"aberlen, M. Schmidt, W. Attenberger, B. Stritzker. Nucl. Instr. and Meth. B 186 (2002) 206-211.
   5   \bibitem{maik_da} Maik H"aberlen. Diplomarbeit. Universit"at Augsburg. 2002.
   6   \bibitem{park_miller_zufall} S. K. Park, K. W. Miller. Communications of the ACM 31 (1988) 1192-1201
   7   \bibitem{ziegler_biersack_littmark} J. F. Ziegler, J. B. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Matter, Vol. 1. Pergamon Press, New York, 1985.
   8   \bibitem{lss} J. Lindhard, M. Scharff. Phys. Rev. 124 (1961) 128.
   9   \bibitem{bethe_bloch} F. Bloch. Ann. der Physik, 16 (1933) 287.
  10   \bibitem{lss_2} J. Lindhard, M. Scharff, H. E. Schiott. Kgl. Danske. Videnskab. Selskab., Mat.-Fys. Medd. 33 (1963) Nr. 14.
  11   \bibitem{brice1} D. K. Brice. Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 103.
  12   \bibitem{brice2} D. K. Brice. Ion Implantation Range and Energy Deposition Distribution. IFI Plenum, New York 1975.
  13   \bibitem{stein_vook_borders} H. J. Stein, F. L. Vook, J. A. Borders. Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 106.
  14   \bibitem{kinchin_pease} G. H. Kinchin, R. S. Pease. Rep. Progr. Phys. 18 (1955) 1.
  15   \bibitem{biersack_haggmark} J. P. Biersack, L. Haggmark. Nucl. Instr. and Meth. B 174 (1980) 257
  16   \bibitem{van_ommen} A. H. van Ommen. Nucl. Instr. and Meth. B 39 (1989) 194.
  17   \bibitem{specht} E. D. Specht, D. A. Walko, S. J. Zinkle. Nucl. Instr. and Meth. B 84 (2000) 390.
  18   \bibitem{ishimaru} M. Ishimaru,  R. M. Dickerson, K. E. Sickafus, Nucl. Instr. and Meth. B 166-167 (2000) 390.
  19   \bibitem{lindner_appl_phys} J. K. N. Lindner. Appl. Phys. A 77 (2003) 27-38.
  20   \bibitem{linnross} J. Linnross, R. G. Elliman, W. L. Brown. J. Matter. Res. 3 (1988) 1208.
  21   \bibitem{kennedy} E. F. Kennedy, L. Csepregi, J. W. Mayer. J. Appl. Phys. 48 (1977) 4241.
  22   \bibitem{taylor} W. J. Taylor, T. Y. Tan, U. G"osele. Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 3336.
  23   \bibitem{eftem_tbp} M. H"aberlen, J. K. N. Lindner, B. Stritzker. to be published.
  24   \bibitem{maik_temper} M. H"aberlen, J. K. N. Lindner. B. Stritzker. Nucl. Instr. Meth. B 206 (2003) 916-921.
  25   \bibitem{horton} L. L. Horton, J. Bentley, L. Romana, A. Perez, C. J. McHargue, J. C. McCallum. Nucl. Instr. and Meth. B 65 (1992) 345.
  26   \bibitem{skorupa} W. Skorupa, V. Heera, Y. Pacaud, H. Weishart in: F. Priolo, J. K. N. Lindner, A. Nylandsted Larsen, J. M. Poate (Eds.). New Trends in Ion Beam Processing of Materials. Europ. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 65 Part 1. Elsevier Amsterdamm (1977) 114.
  27   \bibitem{reiber} J. K. N. Lindner, W. Reiber, B. Stritzker. Mater. Sci. Forum 264-268 (1998) 215-218.
  28 \end{thebibliography}