nlsop/diplom/simulation.tex

   1 \chapter{Simulation}
   2
   3   \section{Annahmen der Simulation}
   4
   5     \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
   6
   7     \subsection{Diffusion}
   8
   9     \subsection{Sputtern}
  10
  11   \section{Auswertung von TRIM Ergebnissen}
  12
  13     \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft}
  14
  15     \subsection{Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}
  16
  17   \section{Simulierte Tiefenbereiche}
  18
  19   \section{Simulationsalgorithmus}
  20
  21     \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
  22
  23     \subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target}
  24
  25     \subsection{Diffusion und Sputtern}
  26
  27   \section{Ablaufschema}
  28