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index a5f1a07..a7876e2 100644 (file)
@@ -18,7 +18,7 @@ Ihre technologischen Vorz"uge sind:
 \end{itemize}
 
 Die Bestrahlung von Materialien mit energetischen Teilchen hat eine sehr hohe Energie-Dissipation im Material zur Folge, welche die zu Grunde liegende Nano- und Mikrostruktur weit aus dem Gleichgewichtszustand bringen kann.
-Eine der un"ublichsten Antworten des Systems auf die "au"sere Stimulation ist die Selbstorganisation der Nano- und Mikrostruktur zu periodisch angeordneten zwei- oder drei-dimensionalen Gebilden.
+Eine der un"ublichsten Antworten eines Systems auf "au"sere Stimulation ist die Selbstorganisation der Nano- und Mikrostruktur zu periodisch angeordneten zwei- oder drei-dimensionalen Gebilden.
 
 Bei Untersuchungen von Hochdosis-Kohlenstoff-Ionenimplantationen in Silizium, als Methode zur Herstellung vergrabener epitaktischer $SiC$-Schichten \cite{herstellung_sic_schicht},\\
 fand man bei Temperaturen kleiner $400 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ die Ausbildung einer amorphen Schicht, begleitet von lamellaren und sph"arischen $SiC_x$-Ausscheidungen an der vorderen Grenzfl"ache.
@@ -33,8 +33,8 @@ Monte-Carlo-Rechnungen bieten hierbei den Vorteil, dass sie im Gegensatz zu soge
 Weiterhin bieten sie den Vorteil, dass die physikalischen Vorg"ange weitgehend ohne einschr"ankende Annahmen behandelt werden k"onnen.
 
 Die Arbeit ist wie folgt aufgebaut.
-In Kapitel \ref{chapter:grundlagen} werden die n"otigen Grundlagen der Ionen-Festk"orper Wechselwirkung wiederholt und eine kurze Einf"uhrung in das Konzept der Monte-Carlo-Simulation gegeben.
+In Kapitel \ref{chapter:grundlagen} werden die n"otigen Grundlagen der Ion-Festk"orper Wechselwirkung wiederholt und eine kurze Einf"uhrung in das Konzept der Monte-Carlo-Simulation gegeben.
 Danach wird in Kapitel \ref{chapter:modell} das Modell konkret formuliert.
-In Kapitel \ref{chapter:simulation} wird die Implementierung des vorher vorgestellten Modells behandelt.
-Nach der Diskussion der Ergebnisse in Kapitel \ref{chapter:simulation} schliesst die Arbeit mit einer Zusammenfassung und einem Ausblick in Kapitel \ref{chapter:z_und_a}.
+In Kapitel \ref{chapter:simulation} wird die Implementierung des vorgestellten Modells behandelt.
+Nach der Diskussion der Ergebnisse in Kapitel \ref{chapter:ergebnisse} schlie"st die Arbeit mit einer Zusammenfassung und einem Ausblick in Kapitel \ref{chapter:z_und_a}.