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index be5e08b..359e5ef 100644 (file)
@@ -161,7 +161,7 @@ Das Kapitel schlie"st mit dem Test der verwendeten Zufallszahlen.
     Man erkennt, dass diese nahezu identisch sind.
     Die durchschnittliche Energieabgabe pro Sto"s ist also ungef"ahr konstant und unabh"angig von der Tiefe.
     Dies ist der Grund f"ur die Wahl eines konstanten Beitrags der ballistischen Amorphisierung in Abschnitt \ref{subsection:a_and_r}.
-    Jeder Sto"s "ubertr"agt durchschnittlich einen konstanten Energiebetrag im Falle einer Kollision, und tr"agt somit einen konstanten Anteil zur Amorphisierungswahrscheinlichkeit bei.
+    Jeder Sto"s "ubertr"agt durchschnittlich einen konstanten Energiebetrag im Falle einer Kollision und tr"agt somit einen konstanten Anteil zur Amorphisierungswahrscheinlichkeit bei.
     
     Desweiteren ist nun die Wahrscheinlichkeit f"ur eine Kollision in einer bestimmten Tiefe bekannt.
     Sie ist proportional zur Anzahl der Kollisionen in dieser Tiefe.
@@ -170,7 +170,7 @@ Das Kapitel schlie"st mit dem Test der verwendeten Zufallszahlen.
     \printimg{h}{width=12cm}{trim_nel.eps}{Durch {\em SRIM 2003.26} berechneter nuklearer Energieverlust f"ur $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}{img:trim_nel}
     Zum Vergleich zeigt Abbildung \ref{img:trim_nel} die von {\em SRIM 2003.26} selbst berechnete nukleare Bremskraft.
     Wie zu erwarten entspricht sie ungef"ahr dem Verlauf der in Abbildung \ref{img:trim_coll} gezeigten Energieabgabe.
-    Daher wird dieses Profil f"ur {\em NLSOP} zur Verteilung der Kollisionen im Taregt verwendet.
+    Daher wird dieses Profil f"ur {\em NLSOP} zur Verteilung der Kollisionen im Target verwendet.
 
     Ein implantiertes Ion und dadurch entstandene Recoils verursachen durchschnittlich eine Anzahl von $1088$ Kollisionen, bis alle Teilchen bis auf Energien unterhalb der Verlagerungsenergie f"ur $Si$ Atome von $15 \, eV$ \cite{ziegler_biersack_littmark} abgesunken sind.
     Die Zahl der getroffenen W"urfel, also Volumina in denen ein Ion mindestens eine Kollision verursacht, ist sehr viel geringer.
@@ -368,9 +368,6 @@ Das Kapitel schlie"st mit dem Test der verwendeten Zufallszahlen.
 
         \rput(11,9){\rnode{d_is_amorph}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Volumen $\vec{r}(k,l,m)$ amorph?}}}
         \ncline[]{->}{loop_d}{d_is_amorph}
-       \rput(14.9,9){\pnode{h10}}
-       \ncline[]{-}{d_is_amorph}{h10}
-        \lput*{0}{nein}
 
         \rput(11,7){\rnode{loop_dn}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{\parbox{4cm}{
           Gehe alle/verbleibende\\
@@ -419,6 +416,13 @@ Das Kapitel schlie"st mit dem Test der verwendeten Zufallszahlen.
         \rput(5.4,11.9){\pnode{h9}}
         \ncline[]{->}{h8}{h9}
 
+       \rput(8,9){\pnode{h10}}
+       \rput(8,3){\pnode{h11}}
+       \ncline[]{-}{d_is_amorph}{h10}
+       \ncline[]{-}{h10}{h11}
+        \lput*{0}{nein}
+       \ncline[]{->}{h11}{check_d}
+
         \rput(3,9){\rnode{s_p}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=red]{\parbox{7cm}{
           Sputterroutine:\\
           \begin{itemize}