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[lectures/latex.git] / nlsop / nlsop_dpg_2004.tex

diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex
index 0f3bbe9..797b765 100644 (file)
--- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex
+++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex
@@ -74,7 +74,7 @@
 \begin{itemize}
  \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium \\ $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
  \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
- \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
+ \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
  \item d"unnes Target \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung
  \item Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete
 \end{itemize}
@@ -150,7 +150,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
  \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit
   \[
     \begin{array}{ll}
-     p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\
+     p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\
      p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
    \end{array}
   \]
@@ -250,7 +250,7 @@ Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme:
  \begin{center}
   \includegraphics[height=3.5cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps}
   \includegraphics[height=3.5cm]{tem-if.eps}
-  \caption{Vergleich von Simulationsergebniss und TEM-Aufnahme}
+  \caption{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
  \end{center}
 \end{figure}
 \end{slide}