added ion implantation intro

[lectures/latex.git] / nlsop / talk / talk_german.tex

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index a9c697d..4d82a2b 100644 (file)
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -9,7 +9,7 @@
 \usepackage{aecompl}
 \usepackage{color}
 \usepackage{graphicx}
-\graphicspath{{../img/}}
+\graphicspath{{../img}}
 \usepackage{hyperref}
 
 \begin{document}
@@ -18,32 +18,59 @@
 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
 \author{Frank Zirkelbach}
 \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik - Universit"at Augsburg}
+\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
+\slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
 
 \maketitle
 
-\overlays{7}{
 \begin{slide}{"Uberblick}
-\begin{itemstep}
+\begin{itemize}
   \item Motivation
-  \item Grundlagen der Ionenimplantation
+  \item Grundlagen
   \item Experimentelle Befunde
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
-  \item Herstellung breter lamellarer Bereiche
+  \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
-\end{itemstep}
-\end{slide}}
+\end{itemize}
+\end{slide}
 
-\overlays{3}{
-\begin{slide}{Motivation}
+\overlays{5}{
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Funktionsweise:
 \begin{itemstep}
- \item Ionenimplantation
- \item Selbstorganisation
- \item Monte-Carlo-Simulation
+ \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
+ \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
+ \item Bestrahlung eines Festk"orpers
 \end{itemstep}
+\FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\
+\vspace{15pt}
+\FromSlide{5}{
+Industrielle Anwendung:\\
+Dotierung von Halbleiterkristallen}
 \end{slide}}
 
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Vorteile
+\begin{itemize}
+ \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
+ \item Reproduzierbarkeit
+ \item Homogenit"at
+ \item Schnelligkeit
+ \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
+ \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}{Selbstorganisation}
+\begin{tabular}{c}
+  \begin{tabular}{lr}
+    \includegraphics[width=4cm]{tr.eps} & text...
+  \end{tabular} \\
+Bolse: swift heavy ions
+\end{tabular}
+\end{slide}
+
 
 \end{document}