\begin{itemize}
\item SiC als HL-Bauelemente f"ur Anwendungen unter extremen Bedingungen
\item Schwierigkeiten in der Herstellung d"unner SiC-Schichten
- \item Notwendigkeit den 3C-SiC-Asuscheidungsvorgang zu verstehen
+ \item Notwendigkeit den 3C-SiC-Ausscheidungsvorgang zu verstehen
\end{itemize}
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