added ion implantation intro
authorhackbard <hackbard>
Thu, 3 Nov 2005 00:05:04 +0000 (00:05 +0000)
committerhackbard <hackbard>
Thu, 3 Nov 2005 00:05:04 +0000 (00:05 +0000)
nlsop/talk/talk_german.tex

index 2696795..4d82a2b 100644 (file)
@@ -9,7 +9,7 @@
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-\graphicspath{{./}}
+\graphicspath{{../img}}
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 \begin{document}
 \usepackage{hyperref}
 
 \begin{document}
 \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
 \institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
 \slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
 \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
 \institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
 \slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
-\Logo{\includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}}
 
 \maketitle
 
 
 \maketitle
 
-\overlays{8}{
 \begin{slide}{"Uberblick}
 \begin{slide}{"Uberblick}
-\begin{itemstep}
+\begin{itemize}
   \item Motivation
   \item Motivation
-  \item Grundlagen der Ionenimplantation
+  \item Grundlagen
   \item Experimentelle Befunde
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
   \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
   \item Experimentelle Befunde
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
   \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\overlays{5}{
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Funktionsweise:
+\begin{itemstep}
+ \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
+ \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
+ \item Bestrahlung eines Festk"orpers
 \end{itemstep}
 \end{itemstep}
+\FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\
+\vspace{15pt}
+\FromSlide{5}{
+Industrielle Anwendung:\\
+Dotierung von Halbleiterkristallen}
 \end{slide}}
 
 \end{slide}}
 
-\overlays{3}{
-\begin{slide}{Motivation}
-Ionenimplantation
-\begin{itemstep}
- \item exakte Dosierbarkeit
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Vorteile
+\begin{itemize}
+ \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
  \item Reproduzierbarkeit
  \item Reproduzierbarkeit
+ \item Homogenit"at
+ \item Schnelligkeit
  \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
  \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
-\end{itemstep}
-\end{slide}}
+ \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}{Selbstorganisation}
+\begin{tabular}{c}
+  \begin{tabular}{lr}
+    \includegraphics[width=4cm]{tr.eps} & text...
+  \end{tabular} \\
+Bolse: swift heavy ions
+\end{tabular}
+\end{slide}
 
 
 \end{document}
 
 
 \end{document}