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authorhackbard <hackbard@sage.physik.uni-augsburg.de>
Sun, 16 Nov 2008 15:56:39 +0000 (16:56 +0100)
committerhackbard <hackbard@sage.physik.uni-augsburg.de>
Sun, 16 Nov 2008 15:56:39 +0000 (16:56 +0100)
posic/talks/seminar_2008.tex

index 600080c..d370071 100644 (file)
 
  Die Alternative: Ionenstrahlsynthese
 
- \small
{\small
 
- \begin{minipage}{6cm}
  \begin{itemize}
-  \item Implantation 1:\\
-        180 keV C$^+\rightarrow$ FZ-Si(100)\\
+  \item Implantation 1:
+        180 keV C$^+\rightarrow$ FZ-Si(100),
         $D=7.9 \times 10^{17}$ cm$^{-2}$,
-        $T_{\text{i}}=500 \, ^{\circ} \text{C}$\\
-        $\rightarrow$
-  \item Implantation 2:\\
-        180 keV C$^+\rightarrow$ FZ-Si(100)\\
+        $T_{\text{i}}=500 \, ^{\circ} \text{C}$
+        \begin{center}
+        $\Downarrow$\\
+        epitaktisch orientierte 3C-SiC Ausscheidungen
+        in kastenf"ormigen Bereich,
+        eingeschlossen in a-Si:C 
+        \end{center}
+  \item Implantation 2:
+        180 keV C$^+\rightarrow$ FZ-Si(100),
         $D=0.6 \times 10^{17}$ cm$^{-2}$,
-        $T_{\text{i}}=250 \, ^{\circ} \text{C}$\\
-        $\rightarrow$
-  \item Tempern:
+        $T_{\text{i}}=250 \, ^{\circ} \text{C}$
+        \begin{center}
+        $\Downarrow$\\
+        Zerst"orung einzelner SiC Ausscheidungen
+        in gr"o"ser werdenden amorphen Grenzschichten 
+        \end{center}
+  \item Tempen:
         $T=1250 \, ^{\circ} \text{C}$, $t=10\text{ h}$
+        \begin{center}
+        $\Downarrow$\\
+        Homogene, st"ochiometrische 3C-SiC Schicht mit
+        scharfen Grenzfl"achen
+        \end{center}
  \end{itemize}
+
+
+ \begin{minipage}{5.9cm}
+ \includegraphics[width=6cm]{ibs_3c-sic.eps}
  \end{minipage}
  \hspace*{0.3cm}
- \begin{minipage}{6cm}
- \includegraphics[width=7cm]{ibs_3c-sic.eps}
+ \begin{minipage}{6.5cm}
+ \vspace*{0.5cm}
  {\scriptsize
  Querschnitts-TEM-Aufnahme einer einkristallinen vergrabenen
  3C-SiC-Schicht.\\
  }
  \end{minipage}
 
+}
+
 \end{slide}
 
 \begin{slide}