\Delta R_p & \equiv \textrm{Standardabweichung der projezierten Reichweite} \, R_p
\end{array}
D & \equiv \textrm{Dosis} \\
\Delta R_p & \equiv \textrm{Standardabweichung der projezierten Reichweite} \, R_p
\end{array}
+\]
(Lindhard, Scharff, Schiott)\\
\end{slide}
\begin{slide}
(Lindhard, Scharff, Schiott)\\
\end{slide}
\begin{slide}
-\\
Ionisationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM):
\\
bild von maik requesten...
Ionisationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM):
\\
bild von maik requesten...
@@ -191,7+191,7 @@ Wie entstehen die geordneten amorphen Ausscheidungen:
\begin{itemize}
\item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
\item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
\begin{itemize}
\item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
\item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
- \item $SiC$-Dichte im amorphen um $20-30%$ geringer als im kristallinen Zustand $\rightarrow$ Ausdehnung, Druckspannung auf Umgebung $\rightarrow$ Erschweren "Wiedereinbau" verlagerter Atome
+ \item $SiC$-Dichte im amorphen um $20-30$ Prozent geringer als im kristallinen Zustand $\rightarrow$ Ausdehnung, Druckspannung auf Umgebung $\rightarrow$ Erschweren "Wiedereinbau" verlagerter Atome
\item Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung
\item Verringerung der Kohlenstoff"ubers"attigung durch Diffusion von Kohlenstoff aus Kristallinem ins Amorphe (falsch implementiert :()
\end{itemize}
\item Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung
\item Verringerung der Kohlenstoff"ubers"attigung durch Diffusion von Kohlenstoff aus Kristallinem ins Amorphe (falsch implementiert :()