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authorhackbard <hackbard>
Mon, 7 Nov 2005 13:42:50 +0000 (13:42 +0000)
committerhackbard <hackbard>
Mon, 7 Nov 2005 13:42:50 +0000 (13:42 +0000)
nlsop/talk/talk_german.tex

index 1377dfd..18ead67 100644 (file)
@@ -177,6 +177,7 @@ Universit"at Augsburg
         \includegraphics[width=5.5cm]{a-d.eps}
         {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}
       \column{5.5cm}
+        \vspace{0.5cm}
         \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps}
         {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
     \end{columns}
@@ -198,6 +199,7 @@ Universit"at Augsburg
     \begin{center}
       \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps}
     \end{center}
+    \scriptsize{
     \begin{itemize}
       \pause
       \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
@@ -206,12 +208,12 @@ Universit"at Augsburg
       \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\
             $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
       \pause
-      \item Dichtereduktion des amorphen $SiC_x$\\
+      \item Geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
             $\rightarrow$ laterale Druckspannungen
       \pause
       \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\
             $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$
-    \end{itemize}
+    \end{itemize}}
 \end{frame}
 
 \section{Simulation und Ergebnisse}
@@ -220,34 +222,240 @@ Universit"at Augsburg
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Simulation}
+  \begin{block}{Name}
+  {\bf N}ano {\bf L}amellar {\bf S}elbst{\bf o}rganisations{\bf p}rozess
+  \end{block}
+  \begin{block}{Grober Ablauf}
+    \begin{itemize}
+      \item Amorphisierung/Rekristallisation
+      \item Kohlenstoffeinbau
+      \item Diffusion/Sputtern
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \begin{block}{Versionen}
+    \begin{itemize}
+      \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe
+      \item Version 2 - Simulation "uber den ganzen Tiefenbereich
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Unterteilung des Targets}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=8cm]{gitter_oZ.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
+  \begin{columns}
+    \column{5.5cm}
+      \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps}
+      {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
+    \column{5.5cm}
+      \includegraphics[width=5.5cm]{trim_impl2.eps}
+      {\scriptsize SRIM 2003.26, Implantationsprofil,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=7cm]{trim_coll.eps}\\
+  \end{center}
+    {\scriptsize $\Rightarrow$ Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}\\
+    {\scriptsize $\Rightarrow$ Mittlere W"urfel-Trefferzahl eines Ions}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
+  \begin{block}{Amorphisierungswahrscheinlichkeit}
+    \[
+    p_{c \rightarrow a}(\vec{r}) = \pause \color{green}{p_b} \pause + \color{blue}{p_c c_C(\vec{r})} \pause + \color{red}{\sum_{\textrm{amorphe Nachbarn}} \frac{p_s c_C(\vec{r'})}{(r-r')^2}}
+    \]
+  \begin{itemize}
+    \onslide<2-> \item \color{green}{ballistische Amorphisierung}
+    \onslide<3-> \item \color{blue}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}
+    \onslide<4-> \item \color{red}{spannungsuntert"utzte Amorphisierung}
+  \end{itemize}
+  \end{block}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallsiation}
+  \begin{block}{Rekristallisationswahrscheinlichkeit}
+    \[
+    p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( \frac{1 - \sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
+    \]
+    mit\\
+    \[
+    \delta(\vec{r}) = \left\{
+      \begin{array}{ll}
+        1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
+        0 & \textrm{sonst} \\
+      \end{array}
+    \right.
+    \]
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
+  \pause
+  \begin{block}{Sto"skoordinaten}
+    \begin{itemize}
+      \item $x,y$ gleichverteilt
+      \item $z$ entsprechend nuklearer Bremskraft
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \begin{block}{Ablauf}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Ausw"urfeln der Sto"skoordinaten
+      \pause
+      \item Berechnung von $p_{c \rightarrow a}$ bzw. $p_{a \rightarrow c}$
+      \pause
+      \item Zufallszahl $\rightarrow$ Amorphisierung/Rekristallisation
+      \pause
+      \item Wiederholung f"ur mittlere Anzahl der Treffer des Ions
+    \end{itemize}
+  \end{block}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Algorithmus - Kohlenstoffeinbau}
+  \begin{block}{Koordinaten f"ur Kohlenstoffeinbau}
+    \begin{itemize}
+      \item $x,y$ gleichverteilt
+      \item $z$ entsprechend Implantationsprofil
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \begin{block}{Ablauf}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Ausw"urfeln der Koordinaten f"ur Kohlenstoffeinbau
+      \pause
+      \item Lokale Erh"ohung der Anzahl der Kohlenstoffatome
+    \end{itemize}
+  \end{block}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Algorithmus - Diffusion/Sputtern}
+  \begin{block}{Ablauf der Diffusion alle $d_v$ Schritte}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Gehe alle Zellen durch
+      \pause
+      \item Wenn Zelle amorph
+            \begin{itemize}
+             \pause
+             \item Gehe alle Nachbarzellen durch
+             \pause
+             \item Wenn Nachbarzelle kristallin\\
+                   \pause
+                   $\Rightarrow$ Transferiere den Anteil $d_r$ des Kohlenstoffs
+           \end{itemize}
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \pause
+  \begin{block}{Sputterablauf alle $s$ Schritte}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach Ebene $i-1$\\
+            $i \in Z,Z-1,\ldots,2$
+      \pause
+      \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin
+      \pause
+      \item Setze den Kohlenstoff jedes Volumens in Ebene $Z$ auf Null
+    \end{itemize}
+  \end{block}
 \end{frame}
 
-  \subsection{Ergebnisse}
+  \subsection{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Erste Simulationen}
+  \begin{center}
+  \includegraphics[width=10cm]{first_sims.eps}
+  \end{center}
+  \pause
+  \scriptsize{
+  $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\
+  $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\
+  $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen}
+\end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
-  \framesubtitle{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe}
+  \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme}
+  \color{red}{Lamellare Strukturen}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{if_cmp3.eps}
+  \end{center}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
-  \framesubtitle{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
+  \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsrate $d_r$}
+  \begin{columns}
+    \column{5cm}
+      \includegraphics[width=3cm]{diff_einfluss.eps}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{low_to_high_dv.eps}
+    %\includegraphics[width=10cm]{ls_dv_cmp.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{high_to_low_a.eps}
+    %\includegraphics[width=10cm]{ps_einfluss_ls.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
+  \begin{columns}
+    \column{3.5cm} \includegraphics[width=4.5cm]{97_98_ng.eps}
+    \column{7.5cm} \includegraphics[width=6.5cm]{ac_cconc_ver1.eps}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Simulation "uber den gesamten Tiefenbereich}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Zweiter Implantationsschritt}
 \end{frame}
 
 \section{Zusammenfassung und Ausblick}