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diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index 44e1b28..27de0a9 100644 (file)
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -208,8 +208,13 @@ Universit"at Augsburg
          % the atom and impact parameter p
          \onslide<4->{
         \pgfcircle[fill]{\pgfxy(3,6)}{0.1cm}
          % the atom and impact parameter p
          \onslide<4->{
         \pgfcircle[fill]{\pgfxy(3,6)}{0.1cm}

+        \pgfputat{\pgfxy(3.2,6)}{\pgfbox[right,base]{Atom}}

         \color{red}
         \color{red}

+        \pgfsetstartarrow{\pgfarrowbar}
+        \pgfsetendarrow{\pgfarrowbar}

         \pgfxyline(3,6)(3,5)
         \pgfxyline(3,6)(3,5)

+        \pgfclearstartarrow
+        \pgfclearendarrow

         \pgfputat{\pgfxy(2.9,5.5)}{\pgfbox[right,base]{$p$}}
         \color{black}
         }
         \pgfputat{\pgfxy(2.9,5.5)}{\pgfbox[right,base]{$p$}}
         \color{black}
         }


@@ -225,6 +230,7 @@ Universit"at Augsburg
          % ion + direction
         \onslide<2->{
          \pgfcircle[fill]{\pgfxy(1,5)}{0.1cm}
          % ion + direction
         \onslide<2->{
          \pgfcircle[fill]{\pgfxy(1,5)}{0.1cm}

+        \pgfputat{\pgfxy(1,4.9)}{\pgfbox[center,buttom]{Ion}}

         \pgfmoveto{\pgfxy(1,5)}
         \pgflineto{\pgfxy(7,5)}
         \pgfsetdash{{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}}{0cm}
         \pgfmoveto{\pgfxy(1,5)}
         \pgflineto{\pgfxy(7,5)}
         \pgfsetdash{{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}}{0cm}


@@ -267,8 +273,8 @@ Universit"at Augsburg
         {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}
       \column{5.5cm}
         \vspace{0.5cm}
         {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}
       \column{5.5cm}
         \vspace{0.5cm}

-        \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps}
-        {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
+        \includegraphics[width=5.5cm]{trim92_2.eps}
+        {\scriptsize TRIM 92: Nukleares/Elekteronisches Bremskraft- und Implantationsprofil f"ur $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$}

     \end{columns}
 \end{frame}
 
     \end{columns}
 \end{frame}
 


@@ -289,20 +295,16 @@ Universit"at Augsburg
       \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps}
     \end{center}
     \scriptsize{
       \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps}
     \end{center}
     \scriptsize{

-    \begin{itemize}
+    \begin{itemize}[<+-| alert@+>]

       \pause
       \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
       \pause
       \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\

-            $\rightarrow$ {\bf Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
-      \pause
+            $\rightarrow$ {\bf kohlenstoffinduzierte Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen

       \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $3C-SiC$ und $c-Si$\\
             $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph}
       \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $3C-SiC$ und $c-Si$\\
             $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph}

-      \pause
-      \item $20 - 30\,\%$geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ laterale {\bf Druckspannungen} auf Umgebung
-      \pause
+      \item $20 - 30\,\%$ geringere $Si$-Dichte des amorphen $SiC_x$ im Vergleich zu $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ {\bf laterale Druckspannungen} auf Umgebung (Relaxation in vertikaler Richtung)

       \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten\\
             $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
       \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten\\
             $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete

-      \pause

       \item Druckspannungen\\
             $\rightarrow$ {\bf spannungsunterst"utzte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
     \end{itemize}}
       \item Druckspannungen\\
             $\rightarrow$ {\bf spannungsunterst"utzte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
     \end{itemize}}


@@ -346,12 +348,12 @@ Universit"at Augsburg
   \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
   \begin{columns}
   \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
   \begin{columns}

-    \column{5.5cm}
-      \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps}
-      {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}

     \column{5.5cm}
       \includegraphics[width=5.5cm]{trim_impl2.eps}
       {\scriptsize SRIM 2003.26, Implantationsprofil,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
     \column{5.5cm}
       \includegraphics[width=5.5cm]{trim_impl2.eps}
       {\scriptsize SRIM 2003.26, Implantationsprofil,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}

+    \column{5.5cm}
+      \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps}
+      {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}

   \end{columns}
 \end{frame}
 
   \end{columns}
 \end{frame}
 


@@ -481,16 +483,12 @@ Universit"at Augsburg
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Simulation, Version 1}
   \begin{block}{Eigenschaften}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Simulation, Version 1}
   \begin{block}{Eigenschaften}

-    \begin{itemize}
+    \begin{itemize}[<+-| alert@+>]

       \pause
       \pause

+      \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$

       \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil
       \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil

-      \pause

       \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion
       \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion

-      \pause

       \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft
       \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft

-      \pause
-      \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$
-      \pause

       \item Kein Sputtervorgang
     \end{itemize}
   \end{block}
       \item Kein Sputtervorgang
     \end{itemize}
   \end{block}


@@ -505,8 +503,9 @@ Universit"at Augsburg
   \pause
   \scriptsize{
   $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\
   \pause
   \scriptsize{
   $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\

-  $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\
-  $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen $\rightarrow$ $2$ bzw. $3 \times 10^7$\\}
+  \pause
+  $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen $\rightarrow$ $2$ bzw. $3 \times 10^7$\\
+  $\Rightarrow$ kleinere Simulationsparameter $p_b$, $p_c$ und $p_s$\\}

 \end{frame}
 
 \begin{frame}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}


@@ -588,17 +587,13 @@ Universit"at Augsburg
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Simulation, Version 2}
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Simulation, Version 2}

-  \begin{block}{Eigenschaften}
+  \begin{block}{Eigenschaften}[<+-| alert@+>]

     \begin{itemize}
       \pause
       \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil
     \begin{itemize}
       \pause
       \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil

-      \pause

       \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM
       \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM

-      \pause

       \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft
       \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft

-      \pause

       \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$
       \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$

-      \pause

       \item Sputtervorgang
     \end{itemize}
   \end{block}
       \item Sputtervorgang
     \end{itemize}
   \end{block}


@@ -712,6 +707,8 @@ Universit"at Augsburg
     \item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar
     \item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen
     \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen
     \item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar
     \item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen
     \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen

+    \item Variation der Simulationparameter\\
+          $\Rightarrow$ Bildungsprozess der amorphen Phasen nachvollziehbar

   \end{itemize} 
 \end{frame}
 
   \end{itemize} 
 \end{frame}